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SQC-310 系 列 薄 膜 镀 层 控 制 仪 用 户 手 册 版号 6.10 © 版权 INFICON 公司 2009 0-1 安全信息 在安装, 运行或维修设备前请阅读本手册. 切勿安装替代件, 或对产品执行任何未授权的 修改. 将产品返回 INFICON 维修确保其安全特征的持久性. 安全符号 警告: 提醒注意可能引起人身伤害或死亡的程序, 实践, 或条件. 警示: 提醒注意可能引起设备损坏或数据永久丢失的程序, 实践, 或条件.. 在使用这个产品前参阅手册中的全部警告或警示信息, 以避免人身伤害或设备 损坏. 存在危险电压. 接地符号. 机箱接地符号. 等电位接地符号. 0-2 保用信息 如按本手册中的说明使用, 本