無塵室內異物管理基本原則.pptxVIP

無塵室內異物管理基本原則不帶入 不把外面的塵埃帶入無塵室內不殘留 無塵室內因狀況而產生之塵埃，不可殘 留無塵室內不產生 人員和物品，設備在無塵室內不可因不當之 動作而產生塵埃無塵環境等級 與異物數量之關聯性CLASS0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5.0μm1357.53110350753010100300100100010007100001000070100000100000700英制單位：為每立方英呎0.5μm以上粒子數SI制單位：為每立方公尺0.5μm以上粒子數取其對數CLASS 100相當於SI制M3.5 無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境 層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板回風，氣流由上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走亂流式無塵環境 由局部出風口吹入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風無塵環境設計與施工概念垂直層流式無塵環境無塵環境設計與施工概念水平層流式無塵環境無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境優缺點 優點：效果完全 若在作業狀況中影響較小，運轉後迅速 可達到所需之落塵控制量，管理容易 缺點：設備費用高(維護費用高) 換過濾網校麻煩 適用於 Class 1,10,100 無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境優缺點 優點：設備費用低，維護費用低，往後若需擴充較方 便，若再配合無塵操作台或亭(Cle