酸化チタン膜厚检查装置.pdfVIP

December-2015 酸化チタン膜厚検査装置酸化チタン膜厚検査装置 ThISThIS-5001RS-5001RS 光応用検査機器事業本部光応用検査機器事業本部 http://www.tktk.co.jphttp://www.tktk.co.jp December-2015 特長 反射率分光法を応用し、2方向計測＋独自アルゴリズム により、 多孔質膜の膜厚と屈折率（空隙率）を高精度かつ高速に非破壊・ 非接触検査できる検査装置です。 ☆ 反射率分光法により非破壊・非接触で計測。 ※ １ ☆ 多孔質膜の膜厚を±0.1μm の高精度で計測。