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射频等离子体鞘层动力学模型!-物理学报.pdfVIP

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  • 2018-06-07 发布于天津
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射频等离子体鞘层动力学模型!-物理学报.pdf

    射频等离子体鞘层动力学模型!-物理学报

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # !$ $##! !$ ， ， ， N:A ’# M: ’ !$ O/P/64/5 $##! （ ） !###E+$(#F$##!F# !$ F$+(*E# BGHB IJKLGB LMLGB !$##! GQ38 ’ IQD ’ :P ’ 射频等离子体鞘层动力学模型! 戴忠玲 王友年 马腾才 （大连理工大学物理系，大连 !!#$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）

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