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  • 2017-11-20 发布于北京
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关于半导体材料硅和砷化镓的钎焊

关于半导体材料硅和砷化镓的钎焊 半导体材料种类繁多,但除硅与砷化镓外,工业上利用钎焊技术进行链接的并不多。再者,半导体材料的特性与所含杂质的成分和数量有关。两种材料之间必须保证是欧姆接触。为了保证材料的性质不变,在钎焊过程中,钎焊温度必须低于母材的最高工作温度。钎焊方法分两种:一种为普通软钎焊,即用钎料片放置于半导体材料和管壳或引线之间进行钎焊;另一种为共晶钎焊,即在半导体材料上覆盖多层金属膜,升温过程中金属膜之间互相扩散成共晶成分,当温度达到共晶熔化温度时,金属膜融化使半导体材料与管壳等连到一起。半导体材料的钎焊一般都在保护气氛中进行。钎焊温度通常不超过450℃。 半导体材料是电阻率介于导体(主要是金属)和非导体(电介质)之间的一类物质。它们的点阻力介于10-4~109Ω·cm之间。 半导体材料的应用特性极大地依赖于其中所含的微量杂质。若半导体材料中的杂质含量从10-9变到10-2,则它的电导率会变化数百万倍。半导体材料的另一个特征是,它传导电流时不仅依靠电荷——电子,而且依靠在数量上与电子相等的正电荷——空穴。电子导电性称为n型导电性,空穴导电性称为p型导电性。 具有半导体性质的材料种类繁多,按化学成分可分成六类。 元素半导体材料。元素半导体材料有硼(B)、碳(C)、硅(Si)、锗(Ge)、锡(Sn)、磷(P)、砷(As)、锑(Sb)、硫(S)、硒(Se)、碲(Te)和碘(I)等十二种元素。硅、锗、硒是常用元素半导体材料。 硒是最早使用的元素半导体材料,主要用于制造硒整流器,硒光电池和静电复印半导体。 锗是一种稀有元素,是工业上最先实用化的半导体材料,由于在地壳中含量极少,大约为百万分之二,而且极为分散,因此料源十分贫乏。锗的禁带宽度(0.67eV)比硅的宽度(1.08eV)小,因而锗器件的最高工作温度(≈100℃)较硅器件(≈250℃)低;锗的电阻率范围较硅小三个数量级;用于制造器件的品种少,不宜制作高反向耐压的大功率器件。因此在半导体器件的应用上大部分已被硅代替。 硅是一种性能优越、资源丰富、工艺成熟和应用广泛的元素半导体材料。从20世纪60年代开始称为主要半导体材料。主要用于制造集成电路、晶体管、二极管、整流元件、光电池、粒子探测器等。 二元化合物半导体材料。这类材料包括Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族、Ⅳ-Ⅳ族、Ⅴ-Ⅳ族、Ⅴ-Ⅴ族、Ⅴ-Ⅵ族等化合物 Ⅲ-Ⅴ族化合物有氮化镓(GaN)、磷化镓(GaP)、砷化镓(GaAs)、锑化铟(InSb)等; Ⅱ-Ⅵ族化合物有硫化镉(CdS)、硫化锌(ZnS)等;Ⅳ-Ⅳ族化合物有碳化硅(SiC)等; Ⅴ-Ⅳ族化合物如硒化铋(Bi2Se3)、Ⅴ-Ⅴ族化合物如锑化铋(BiSb)、Ⅴ-Ⅵ族化合物如碲化锑等。 在二元化合物半导体中,研究最多应用最广的是砷化镓。它的禁带宽度比锗、硅都大,所以最高工作温度可达450℃;并且它的电子迁移率高,是高温、高频、抗辐射、低噪音器件的良好材料。砷化镓的能带具有双能谷结构,适合于制作体效应器件。砷化镓也是制作高效率激光器和红外线光源的良好材料,砷化镓还广泛用于制作其他微波器件,用砷化镓还可以制得高速集成电路。 固溶体半导体材料。此种材料是指两种或两种以上的元素或化合物溶合而成的材料。目前应用较多的是Ⅲ-Ⅴ族化合物或Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体。前者有镓砷磷(CaAs、1-xPx)、镓铝砷(Ca、1-xAlxAs)和铟镓磷(In、1-xGaxP)等;后者有碲镉汞(Hg、1-xCdxTe)等; 氧化物半导体材料。此种材料种类较多。如氧化锰(MnO)、氧化铬(Cr2O3)、氧化亚铁(FeO)、氧化铁(Fe2O3)、氧化镍(NiO)、氧化钴(CoO)、氧化镁(MgO)、氧化锌(ZnO)及氧化锡(SnO2)等。它们大多用于制造湿敏、气敏和热敏元件。 玻璃或非晶态半导体材料。此种材料通常分为两类:氧化物玻璃半导体材料和硫化物玻璃半导体材料。它们用于制作开关和记忆器件、固体显示器和太阳能电池等。 有机半导体材料。如蒽、紫蒽酮、聚苯乙炔等。 硅的物理、化学特性 硅的主要物质性质 序号 项目 数值 单位 1 原子序数 14 — 2 晶体结构 金刚石 — 3 原子量 20.0855 — 4 晶格常数 0.542 nm 5 (111)面间距 0.313 nm 6 (110)面间距 0.363 nm 7 (100)面间距 0.542 nm 8 原子半径 1.7×10-1 nm 9 本征电阻率 2.3×105 Ω·cm 10 相对介电常数 11.7±0.2 — 11 密度 2.3289±0.00001 g/cm3 12 线胀系数 2.33×10-6 1/K 13 凝固时体积膨胀 10% — 14 表面张力(熔点下) 0.72 N/m 15 硬度 7 莫氏硬度 16

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