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XTC-2 中文手册
XTC 使用说明书 第 1 页 共 162 页
XTC/C XTC/2
薄 膜 镀 层 控 制 仪
使 用 说 明 书
IPN 074 - 183M
1
XTC 使用说明书 第 2 页 共 162 页
第 二 章
快 速 使 用 指 导
内 容
2.0 快速使用指导
2.1 开箱，初验和清单
2.1.1 开箱和验收步骤
2.1.2 清单
2.1.2.1 XTC/2 的系统配置
2.1.2.2 XTC/C 的系统配置
2.1.2.3 XTC/2 XTC/C 附件
2.2 电压选择
2.3 安装指导和图示
2.4 XTC/2 面板说明
2.4.1 XTC/2 控制面板说明
2.4.2 XTC/2 显示器说明
2.5 XTC/C 前面板说明
2.6 后面板说明
2.6.1 电源组件
2.6.2 配置开关1 和2
2.6.3 接地螺栓
2.6.4 系统I/O
2.6.5 AUX I/O
2.6.6 传感器1，传感器2
2.6.7 RS 232
2-i
2
XTC 使用说明书 第 3 页 共 162 页
2.6.8 通讯选件
2.6.9 源1，2
2.6.10 制造厂标识和系列号牌
2.6.11 记录仪
2.7 镀膜监控仪
2.7.1 监控 – 无源档板的监控系统
2.7.2 监控 – 有源档板的监控系统
2.7.3 速率取样
2.7.4 非常规应用
2.7.4.1 刻蚀
2.7.4.2 浸入液体中
2.7.4.3 生物
2.7.4.4 测量液体
2.8 用作单层膜控制器
2.9 用作多层膜控制器
2-ii
3
XTC 使用说明书 第 4 页 共 162 页
2.0 快速使用指导
2.1 开箱，初验和清单
2.1.1 开箱和验收步骤
1. 如您还未从包装箱中取出仪器，现在请开箱。
2. 仔细检查仪器在运输过程中有无损伤。这是尤其重要的，检查外纸箱有无明显
的野蛮搬运迹象。如发现任何损伤，请立即向INFICON 和运输公司报告。
3. 在按装箱单详细检查与仪器满意运行前，切勿抛弃包装材料。有关电压选择见
2.2 节。有关测试模式运行见3.6 节。
2.1.2 清单
按下面的清单检查包装箱内是否已包含您所需要的全部设备。INFICON
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