半导体制造工艺教案5.docVIP

课题序号 5 授课班级 075电子1、2 授课课时 8 授课形式 讲授 授课章节 名称 主题5、化学气相淀积 使用教具 多媒体 教学目的 了解化学气相淀积概念 了解化学气相淀积系统和方法 了解外延的概念和生成方法 掌握CVD质量检测 教学重点 化学气相淀积系统和方法、外延的概念和生成方法、CVD质量检测 教学难点 外延的概念 更新、补 充、删节 内容 无 课外作业 5-1——5-16 教学后记 授课主要内容或板书设计 第5章　化学气相淀积 概述 5.2　化学气相淀积 5.3　化学气相淀积系统 5.4　外延 5.5　CVD质量检测 课 堂 教 学 安 排 教学过程 主 要 教 学 内 容 及 步 骤 5.1引言 5.1.1　薄膜淀积的概念 　　所谓薄膜，是指一种在硅衬底上生长的薄固体物质。薄膜与硅片表面紧密结合，在硅片加工中，通常描述薄膜厚度的单位是纳米（nm）。半导体制造中的薄膜淀积是指在硅片衬底上增加一层均匀薄膜的工艺。在硅片衬底上淀积薄膜有多种技术，主要的淀积技术有化学气相淀积（CVD）和物理气相淀积（PVD），其他的淀积技术有电镀法、旋涂法和分子束外延法。化学气相淀积(CVD)是通过混合气体的化学反应生成固体反应物并使其淀积在硅片表面形成薄膜的工艺。而物理气相淀积（PVD）是不需通过化学反应，直接把现有的固体材料转移至硅片表面形成薄膜