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2017-10-06 发布于天津
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RFMEMS器件及其关键工艺技术-Core.PDF

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RFMEMS器件及其关键工艺技术-Core

10 2 集美大学学报 (自然科学版) Vo.l 10 No. 2 2005 6 Journal of Jmi eiUn iversity(N atural Science) Jun. 2005 [] 1007 7405( 2005) 02 0114 07 综述 RFMEMS 1, 2 1 陈华君 , 郭东辉 ( 1. 厦门大学物理与机电工程学院, 福建厦门 361005; 2. 厦门睿智微电子技术有限公司, 福建厦门 361005) [] RFMEMS , RFM EMS , RFMEMS. [] ; ; RFMEMS; [ ] TN 61 [] A 0 , , , , . , (MEMS) , . , MEMS ( RF) , RFMEMS. RFMEMS , , , MEMS FET PIN [ 1] [ 2~ 4] . , RFMEMS, . , RFMEMS . 1 RF MEM S RF MEMS: . 1. 1 MEMS, , ; , ( 1 ) ( 2); , ( ) ( ) . , 3 [] 2004 11 01 [] (A0410007) [] ( 1977 ), , , MEM S. : ( 1967 ), , , , Em ai:l dhguo@ xmu. edu. cn 2 : RFMEMS 115 : 1) . R izkT MEMS 80~ 110 GH z 20 dB ( 0. 25 0. 1) dB; MEMS [ 5] 75~ 110 GHz 30~ 40 dB, 90 GH z ( 0. 4 0. 1) dB . 2) . ( 20~ 80 V). [ 1] Pacheco 9 V , . , , [ 6] MEMS. 3) . , [ 7] . Daneshmand SP3T MEMS , 3 1. 1. 2 MEMS Q , (VCO). [ 8] MEMS. , 3 , , , 50 %; , Larson L. E. 1991 MEMS, , , 150~ 375 m , 35~ 100 pF. [ 9] , BorwickMEMS 4, 12 pF, 8. 41, 3~ 30 V, 700MHz Q 100, 2. 25 GH zQ 30. [ 10] 1. 3 Q . , , , Q . MEMS Q , , JunBo Y oon ( 5), 6GH zQ 70, 1 GH z 1. 38 nH, [ 11] 20 GH z. , MEMS. 116