ProtoLaserLDI无掩膜激光直写光刻设备pdf.PDFVIP

微精细结构 功能更强大 市场对精细结构需求的增长，使得微流体技术在诸多领域的应用和研究更为深入，如化学、生物、 医药、物理、成像学以及生命科学等。LPKF ProtoLaser LDI能够在实验室内完成更加柔性且快速的 微流体通道样品的制作。 ProtoLaser LDI是一款多功能，高精度，桌面型无掩膜 这一工艺可加工多种平整的基材表面，无特殊环境条件 激光直写光刻设备，用于在光致抗蚀基材上成像，无 要求（推荐使用黄灯）。只需将样品放入标准或客户定 需掩膜，比传统光刻工艺形成的图像精度更高。工作 制的承载装置，然后直接推入ProtoLaser设备中即可。 幅面达100×100mm。最细通道宽度1µm。ProtoLaser LDI是微流体通道设计和制作的理想工具。 该工艺为非接触式，因此不涉及工具损耗，设备多年不 需要维护，几乎没有运行成本。这使得该设备对于创新 LPKF ProtoLaser LDI采用UV紫外激光技术，直接读取 性设计测试方面，是一款非常完美、耐用的工具。 设计数据，激光直接