半导体拉晶生产之拉式即时性排程系统发展与执行.PDF

行 拉 拉行 精 類 行 年年 行 立 參理 理 理沈 理李 年 料 不路 兩 了 量 利 率浪 行 料行 行 料 行 行 行政院國家科學委員會補助產學合作研究計畫成果精簡報告 計畫名稱：半導體拉晶生產之 拉式即時性排程系統發展與執行 計畫類別：技術及知識應用型 計畫編號： NSC 100-2622-E-006 -022 -CC3 執行期間： 100年 06 月 01 日至 101 年 05 月 31 日 執行單位：國立成功大學 製造資訊與系統研究所 計畫主持人：楊大和 共同主持人： (無) 計畫參與人員：王惠儀、沈育安、李政綱、謝宗叡 研究摘要(500字以內)： 本計畫的合作公司—中德電子材料為專業晶圓製造企業，生產出的矽晶圓不僅適用當前積 體電路製造標準，亦符合下一代深次微米製程技術之品質要求。中德電子目前設廠於新竹 科學園區，有長晶廠 (Crystal Plant)及晶圓製造廠 (Wafer Plant) 兩廠。在台灣新竹的長晶廠除 了供貨給台灣本地的晶圓廠外，也能供應給鄰近的日本及韓國的晶圓製造廠。由於長晶設 備 (Puller)的造價相當昂貴，且下游晶圓廠對晶柱的需求量 持續增加，中德公司對於如何能 「提高機台利用率」、「提高機台產能」及「減少浪費」有著急迫的需求。本研究的俱體目 的如下：(1)發展以模擬為基礎之啟發式演算法以求解真實現場動態環境下平行機台之排程 最佳化問題、 (2)發展資料交換 (Data exchange)的機制與現行排程派工系統進行即時的資料 交換、(3)整合排程決策模組與現場的製造現場的製造執行系統 (Manufacturing Execution System, MES) 。 人才培育成果說明： (一) 在教學上 1) 培育國內生產製造管理之相關系統整合人才。 2) 培養團隊合作與系統整合之能力。 3) 培養開發大型系統軟體之能力。 4) 培養跨領域知識的學習能力。 5) 藉由實作，培養問題解決之能力。 6) 可培養數個博士與碩士班學生。 (二) 在產業應用上 1) 建立自行發展跨國多廠生產排程決策支援系統整合之能力。 1 2) 提供研研發人員一一整合且完善善的開發環環境 。 3) 關鍵性性技術可召召開技術公開開說明會發發表 ，並可技技術轉移至至產業界 。 技術研發發成果說明明 ： 1) e-Kannban 系統架架構圖