电感耦合等离子体光谱分析技术与应用.pptVIP

载气流量对电子温度的影响 * 径向电子温度的变化 * 上：理论值 下“实验值 （4）电子密度及其测定 电子密度是指在等离子体中单位体积中（通常是cm－3）电子数目，对具体气体而言，电子密度的大小代表气体电离度的高低，对等离子体光源的分析性能有重要影响。电子密度的测定有多种方法，主要用Stark变宽法。 Stark变宽法： Stark变宽是光源中电场引起光谱项及谱线分裂，并使强度中心频移的物理现象 。等离子体光源是在强电场中，高速运动的电子导致谱线的斯塔克变宽，因H谱线的斯塔克变宽的值较大，多用Hα或Hβ谱线变宽值计算等离子体的电子密度。 Hβ谱线的波长为486.1nm用Hβ变宽值计算电子密度的公式为 * C(ne，T)：与电子密度和温度有关的系数，可查表 是Stark变宽半宽度值 Stark变宽法测定电子密度 T(K) ne（cm-3） 1014 1015 1016 5000 3.84×1014 3.68×1014 3.44×1014 10000 3.80×1014 3.58× 1014 3.30× 1014 20000 3.72×1014 3.55× 1014 3.21× 1014 * Hβ486.1nm的C(ne,T)值 -Stark效应谱线及光谱项再电磁场中位移和变宽. 电子密度的径向分布和轴向分布 * 电子密度与载气流量的 关系