坩埚下降法生长铌酸锂晶体.pdfVIP

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第35卷第10期 硅酸盐学报 V01.35,No.10 2007年10月 JOUI㈨LoF珊CHⅡ咂SECERA~ⅡCSoCmTY 坩埚下降法生长铌酸锂晶体 向卫东1,粱晓娟02,陆宝亮3,李新华3,徐家跃3,夏宗仁4,吴剑波4 硅酸盐研究所,上海200050;4德清华莹电子有限公司,浙江德清313216) 摘要;采用坩埚下降法,生长了直径为5cm的铌酸锂品体。探讨了晶体生长工艺条件,测试了晶体的透过光谱。所得晶体呈浅茶色,分析认为主 要是氧空位缺陷所致。铌酸锂晶体通常用作声表而波(ml—ke 晶片开裂.肯利于提高sAw器件成占占率。 关键词:铌睃锂晶体;坩埚F降法;晶体生长 中囤分类号:0782支蘸标识码:A 文章编号;0454_5“8f200711¨138703 GRoWTHoFLI删UMNIoIIATECRYSTALBYTHEVERTICAL )丑ANG耽{doH窖,LnNGxi。卿Hn矗。,LUB∞lm磅,UⅪnh“0,xUJi叩毋.ⅪAZ0n雷他一.硎Jidnb一 Ma蜘ab (1-c011a群ofcb脚i8Ⅱy蛆dscicIlces,wenzhou Universi吼w蛐ou univers峨I)alian 116021,Liao血g;3.sh蛐ghailnstimtcofceramics,ch垴eseAcademyofsciences, shan曲面2()0050;4.Deqi“gHu删ngElec岫njccomp卸MDeqing313216,压可i柏g,cIli】1a) Abstract:Asasurfkeaco吣廿c t05cm-ndi蛐就盱was thevenic鲥 wave(sAw)subs廿acematedal,LiNb03叩忸lup grownby me协0d.The me of也e Hleasurcd. Bdd鲫a11 gmwlhpar8mct哪were0pbmized蚰dopⅡcal订锄sm“t舭cespec订a LiNb03cry刚were The 8 brown t0 whichwasa埘buted as—growncIys组【showspale coloL growth oxyg阻deficieD。ydudng山e ci∞cy in incre觚eelec仃ic reduce oftl:【e is n pmducedc。”talmay condu吐iv时aIldcrackingLiNb03subs廿ates,whichhelp缸【to creasethe ofSAWdevices yield words:l油iumniobate Key crystal;the v酬cal鲥d肿锄m酣10d;crystalgrow血 crystalhas be lheCzochr铂sl【imetllod0rthevemcal LitIli啪niobate(“NbOhLN)siIlgle grownby exceUent nh粥 So自r’alI玎osta11

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