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坩埚材料对生长CdSiP2晶体表面的影响研究.pdf

第44卷第12期 人 工 晶 体 学 报 v。1.44No.12 ::兰Q!i生!兰旦 』Q旦垦堕垒生Q!璺!堕!旦垦!!垦鱼旦!璺!垒坚 旦!!!竺堕!:!Q!! 坩埚材料对生长CdSiP2晶体表面的影响研究 吴敬尧,朱世富,赵北君,何知宇,陈宝军,黄 巍,孙 宁,林 莉,王黎罡 (四川大学材料科学系,成都610064) 摘要:针对CdSiP:晶体生长过程中,晶体表面与石英坩埚内壁严重粘连甚至开裂的问题,研究了柔性氮化硼(PBN) 坩埚材料生长的CdSiP:晶体表面元素成分和化学状态进行测试发现,采用石英坩埚生长的CdSiP:晶体表面主要 组分元素为33.3l%的si和65.63%的0,晶体表面si2p的结合能为103.2eV,与文献中Si02的Si2p结合能一 致。进一步的分析表明,高温CdSiP:熔体离解产物与石英材料反应生成SiO:界面层是导致晶体严重粘连,甚至开 裂成碎块的重要原因;采用柔性氮化硼(PBN)内衬坩埚能有效解决晶体与器壁的粘连,生长的CdSiP:晶体完整较 好,表面层各组分元素含量接近CdSiP2理论化学配比l:1:2,质量较高。 关键词:CdSiP:;晶体生长;石英坩埚;氮化硼坩埚 中图分类号:0782 文献标识码:A EffectofCrucibleMaterialsontheSurfaceof Crystal CdSiP2 Li,WANGLi-班ng WU.1ing-yao,ZHUShi-fu,ZHAOBei-jun,HEZhi-yu,CHENBao-jun,SUN,Ⅵ昭,LIN ofMaterials (DepartmentScience,SichuanUniversity,Chengdu610064,China) 9June201 30 201 (Received 5,acceptedSeptember5) ofas crucible ordertoovercomethe of adhesion Abstract:In problemsheavily growncrystalsandquartz and the of new in crystalcrackingduring CdSiP2crystalgrowth,atechnologyi.e.,crystalgrows process aPBN constituentsandchemicalstateofthesurfaceofthe liningcrucible,wasinvestigated.The grown werecharacterized CdSiP2crystals byenergydispersivespectrometer(EDS)andX—rayphotoelectron isfoundthatthemainelementsonsurfaceof crystal quartz spectroscopy(XPS).It

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