多晶铸锭炉技术参数.docVIP

附件1：JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数 一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍 JZ-460/660型多晶铸锭炉能生产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的生产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面，给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了成本。JZ-460/660型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英坩埚，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。 整个工艺过程分为装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长晶，退火，冷却。装料是在喷有氮化硅涂层的石英坩埚内，在保证不破坏涂层的条件下，进行装料。装完料后开始抽真空，当压力降到0.008mbar时即可检漏，如果设备检漏通过，此时我们即可开始自动运行设备，按照配方工艺步骤运行。在晶体生长过程中，一般自坩埚底部开始降温，当硅熔体温度低于熔点时，在接近坩埚底部处首先凝固，形成许多细小的核心，然后横向生长，当核心相互接触时，再逐渐向上生长，长大，形成柱状晶，柱状方向与晶体方向平行，直至所有的硅熔体都结晶为止，这样制备出来的多晶硅的晶粒大小，晶界结构，缺陷类型都很相似。对于重量为520kg的铸造多晶硅而言，硅锭尺寸一般为840*840*316mm。目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量采用，稳定生产出高质量的硅锭。 二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件(户内) 环境温度：20±5℃ 环境湿度： ≤ 65%（不结露） 地质震动要求：外界震源：当大于10HZ时，振幅小于0～0.003mm 三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表 序号 项目 参数 备注 1 电源电压 380VAC 2 电源频率 50HZ 3 电源相数 3相 4 电源功率 200KW 真空机组电源功率11.5KW，电控系统电源10KW 5 坩埚尺寸 520～550Kg 870×870×480mm 推荐 660～800Kg 1040×1040×480mm 推荐 6 铸锭尺寸 520Kg 840×840×316mm 660Kg 1000×1000×283mm 7 炉内真空度 抽空极限真空度 1Pa以下 长晶等阶段工作压力 600mbar 允许泄漏量 ≤2Pa/5min 测量范围 0.0133～1.33×Pa 8 炉内温度与测量 最高极限温度 1575℃ 测量最高温度 1800℃ R型热电偶 重复精度：±0.5℃ 红外测温仪 重复精度：±1℃ 9 内/外部尺寸 炉体内直径 ￠2100mm 炉体内高度 2625mm 下腔室升降行程 950mm 隔热钢笼升降行程 380mm 主机（长×宽×高） 3230×3200×4850mm 平台（含单边梯子） （长×宽×高） 5160×4730×4160mm 10 重量 主机 5500kg 平台 3350kg 11 冷却水 入口压力 最大0.45MPa 入、出口压力差 0.25MPa 入口水温 ≤28℃（最好24±1℃） 流量 160～180L/min 12 备用水（紧急情况） 流量 160L/min 停水时能立即换至备用水 维持时间 ≥10h 13 所需氦气 压力 0.3MPa以上 可选项 用量 6～7m3/硅锭 14 所需氩气 压力 0.3MPa以上 用量 70～75m3/硅锭 流量控制范围 0～200L/min 15 压缩空气 压力 0.5～0.7MPa 用量 0.5 m3/炉 流量 100L/min 16 所需真空机组电源 电压 380V 功率 11.5KW 频率 50Hz 相数 3相 17 所需电控系统电源 电压 380V 功率 10KW 频率 50Hz 相数 3相 18 所需加热系统电源 电压 380V 功率 200KW 频率 50Hz 相数 3相 19 泄露率 1Pa/h 20 标准熔料量 520～550kg(460热场) 21 生产周期 约60小时（适用于520kg硅碇） 22 管路接口 泄压安全阀接管口径 Φ150 mm 氩气接管口径 NW-16法兰 氦气接管口径 NW-16法兰 压缩空气 Φ8软管接头 冷却水入、出口口径 Rc2″ 23 真空机组 抽气速率 30