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真空技术理论培训;一、真空及真空度的概念　　在真空技术中，把低于一个大气压的气体状态，统称为真空。及正常的大气相比，这是一种较稀薄的气体状态。　　真空中残存气体的稀薄程度就是真空程度的高低，即真空度。二、真空度的单位　　依据真空度的定义，衡量真空度高低最直接的物理量应是每单位体积中的分子数，但由于历史和技术上的原因，真空度的高低是用被抽空容器中残存气体的绝对压强来表示的。“压强”，是指单位面积容器壁上所承受的压力，它是目前国际上通用的表示真空度的物理量。1958年第一届国际技术会议曾建议采用“托”（Torr）作为测量真空度的单位，定义为“1Torr是1个大气压的1/760”，因1个大气压为760mmHg，故Torr可以与mmHg通用。国际单位制（SI）中规定压强的单位为帕（Pa），帕（Pa）是牛顿/米2（N/m2）的专门名称。目前，包括我国在内的许多国家已逐步用Pa取代Torr作为真空压强的标准基本单位。 ;真空度越高，则气体的压力越低，炉内气体分子数目也越少；反之，气体压力越高，意味着真空度越低。可见，压强的大小及真空度的高低成反比。　　在各种文献中，压强的单位除了Pa和Torr外，还有标准大气压、bar、kgf/cm2。几种常见单位之间的换算关系如下。 1Torr=133.3Pa　　　　　　1Pa=7.5×10-3Torr　　　　　　1Torr=1mmHg 　　　　　　　　1 Torr = 1/760 大气压 三、真空区域的划分　　真空区域的划分方法很多，目前，我国将真空区域划分为：低真空、中真空、高真空和超高真空。各真空区域所对应的真空值分别为：　　低 真 空：105 ～102 Pa　　(760～1 Torr)　　中 真 空：102 ～10-1 Pa　　(1～10-3 Torr)　　高 真 空：10-1～10-5 Pa　　(10-3～10-7 Torr)　　超高真空： ≤10-5 Pa　　(≤10-7 Torr) 在不同的真空区域内分子运动的物理现象是不同的。 ;泵的分类;;;;; H型滑阀泵是抽除一般性气体的真空获得设备。由于它有气镇装置，所以可用来抽除少量水蒸气，又因滑阀环及泵腔有一定间隙，两者不接触，可抽含有微小尘埃的气体。本型泵可以单独使用，也可作为其他高真空泵的前级泵。广泛地应用于真空冶炼，真空干燥，真空浸渍，高真空模拟实验及其他真空作业上。 抽气方式见工作原理图 返油的概念： 一般异常： ?????? 1、电机烧坏 ??????? ?? 2、轴承卡死 3、漏油 4、密封不好，漏气，抽速减慢 分析异常问题 ;;返流的概念： 冷阱的作用： 一般问题：1、加热不均匀 2、冷却水堵塞 3、泵油使用时间过长 结构原理 高真空油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气流导管和加热器等。扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度（约200摄氏度），产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，最后由前级真空泵抽到走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。 增加冷阱装置，防止泵油返流和迁移 泵油通过泵的入口流到被抽容器的现象叫做返流。油分子沿着器壁移动进入被抽容器的现象，叫做返迁移。无论返流，还是返迁移，都影响真空系统的极限压力。冷阱广泛用于超高真空系统，它装在泵入和真空室之间，不仅能有效地捕集扩散泵的返流蒸气及部分分裂解物，而且可抽除来自真空室的蒸气。 利用低温壁来捕集气体，温度越低，效果越好。百叶;;;;极限压力：10 –6Pa 一般异常： 1.?? 电源问题 2.?? 润滑油使用时间过长 3.?? 泵叶片打坏 4.???防止大气冲击 每年保养（清洗、烘干、动平衡等） ;;真空测量、检漏及镀膜知识 ;真空测量; 1）公司现用的低真空真空计有：电阻真空计， 热偶真空计。 （1） 电阻真空计：利用热丝电阻随温度的变化的性质转化测量压力。 10 2Pa -10 –1Pa （具体见结构图） （2） 热偶真空计：利用热电偶直接测量热丝温度的变化。 10 5Pa