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真空获得技术—真空泵真空泵的几个术语抽气速率：在泵的入口处，压强为P, 单位时间内抽出的气体量为Q, 抽速Sp =Q/P, 单位：L/s有效抽气速率：真空泵与真空室之间通常有管道，管道存在压差，减小了泵的抽速。 管道流导为U, 有效抽速 S=SpU/(Sp+U)起始压强：真空泵开始工作的允许压强，泵的工作原理决定。 有些需要真空下开始工作，因此前级泵是必须的。极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达到的最低气压，工作介质决定了极限真空。 真空获得技术—真空泵获得真空的方法：使用真空泵或者吸气剂，真空泵是获得真空的最重要工具。真空泵性能指标决定真空度高低。如果平均自由程 真空室尺寸 ? 分子流 分子的运动互相之间是独立的，分子与墙壁表面的碰撞速率决定真空泵的抽气速度。 真空度如果平均自由程 真空室尺寸 ? 粘滞流 分子运动互相影响 分子与分子的碰撞决定抽气气流动力学， 真空度抽气速率的计算:PV = NRT, N是分子总数at T= const通常情况下, 真空泵的抽气量 正比于真空室气压 P, 泵抽速 S 定义为：S 单位：升/秒, ?/s流量为： Q = PS，因此分子数减少速率为： at T = const通常稳态条件下，抽气管道中的流量是守恒的， 即：Q = P1S1 = P2S2P2 = 100 P1P1P2pump 1500 ?/spump 25 ?/s有管道的真空泵抽速：D = 直径, in cmL = 长度, in cmC = 流导, in ?/sS1P1,C分子流条件下连接管道，流导为：P2S2例子 1D = 15 cmL = 20 cmC = 2025 ?/sS1= 401 ?/s例子 2D = 10 cmL = 20 cmC = 600 ?/sS1= 273 ?/spump500 ?/s真空泵昂贵. 连接管便宜.管道流导的计算：管道串联的流导管道并联的流导C = C1 + C2管道流导的计算：@ 分子流条件, D ~ 5 cm, P mtorrl = 5 cm @ 1 mtorr@ 粘滞流, P mtorr@ D ~5 cm, L = constviscousD = 直径, in cmL = 长度, in cmC = 流导, in ?/sPav = 管道内平均气压, in torrCmolecularPavmtorrgas inlet, O21x10-4 torr ?/s gas inlet, N21x10-3 torr ?/s Chamer 1Chamer 2pump 2100 ?/spump 1500 ?/sconnecting tube1 cm inner diameter10 cm length估计:P(N2) in chamber 1P(N2) in chamber 2P(O2) in chamber 1抽空时间计算：抽气流量方程 例子V = 1000 ?S = 500 ? /st = 2 s每 2.3 t, 气压降低10倍实际上, 真空度 from 10-6 torr to 10-7 torr，却需要比上述估计长得多的时间为什么？ 器壁表面脱气。因此腔体材料的选择十分重要，特别是高真空系统各类真空泵的抽速真空泵的分类抽气式旋片式真空泵扩散泵涡轮分子泵分子拖拽泵吸气式冷凝泵离子泵升华泵常用真空泵的原理:机械泵: 油旋片泵, 罗茨泵干式叶片泵, 辊对泵,隔膜泵抽速工作气压压缩比气体选择性扩散泵涡轮分子泵离子和升华泵冷凝泵旋片式机械泵Mechanical Pump第一级: down to 10-1 torr第二级: down to 10-3 torrinlet密封, 润滑返流 ? 分子筛过滤油式密封不好寿命短污染干式 (无油)limited by oil vapor air back leakInlet pressure: 10-3 torr ~ torr ~ atmheavy load at high pressureOutlet pressure: 1 atm ~ 1.1 atm罗茨泵抽速大压缩比低 ~ 10Pin压缩比定义：净抽速 Qnet = Pin Sfor - PoutSbackIf Pout is high, Qnet can be reduced to 0此时 Pout/Pin 达到，因此 K = Pout/Pin = Sfor/Sback Poutto 机械泵对辊泵干式寿命短 (5000 hrs)抗腐蚀性低Inlet pressure: 10-3 torr ~ torr ~ atmOutlet pressure: 1 atm ~ 1.1 atm