中南大学-透射电镜4-1.pptVIP

第三章 透射电子显微镜成象原理与图象解释 金相显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面的微观形貌，它无法获得物质内部的信息。而透射电镜由于入射电子透射试样后，将与试样内部原子发生相互作用，从而改变其能量及运动方向。显然，不同结构有不同的相互作用。这样，就可以根据透射电子图象所获得的信息来了解试样内部的结构。由于试样结构和相互作用的复杂性，因此所获得的图象也很复杂。它不象表面形貌那样直观、易懂。 因此，如何对一张电子图象获得的信息作出正确的解释和判断，不但很重要，也很困难。必须建立一套相应的理论才能对透射电子象作出正确的解释。如前所述电子束透过试样所得到的透射电子束的强度及方向均发生了变化，由于试样各部位的组织结构不同，因而透射到荧光屏上的各点强度是不均匀的，这种强度的不均匀分布现象就称为衬度，所获得的电子象称为透射电子衬度象。 其形成的机制有两种： 1.相位衬度 让透射束和尽可能多的衍射束，携带它们的振幅和相 位信息一起通过样品时，通过与样品的相互作用，就能 得到由于相位差而形成的能够反映样品真实结构的衬度， 高分辨像——那些晶面的晶格象，或者一个个原子的晶 体结构象。仅适于很薄的晶体试样(≈100?)。 2. 振幅衬度 振幅衬度是由于入射电子通过试样时，与试样内原子 发生相互作用而发生振幅的变化，引起反差。振幅衬度 主要有质厚衬度和衍射衬度两种： ① 质厚衬度 由于试样的质量和厚度不同，各部分对入射电子发生相互作用，产生的吸收与散射程度不同，而使得透射电子束的强度分布不同，形成反差，称为质-厚衬度。 ② 衍射衬度 衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉格反射条件程度差异以及结构振幅不同而形成电子图象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体试样是不存在的。 第一节 质厚衬度原理 质厚衬度的形成主要决定于散射电子的数量。当产生 散射时，如散射角大于一定值，一部分散射电子不能通 过物镜光阑，使到达荧光屏的电子数减少，由于试样各 部分对电子的散射能力不同，使得通过物镜光阑的透射 电子数目不同，从而引起电子束的强度差异，形成衬度. 散射本领大，透射电子数少的样品部分所形成的像要 暗些，反之，则亮些。对于非晶样品，入射电子透过样 品时碰到的原子数目越多（或样品越厚），样品原子核 库仑电场越强（或原子序数或密度越大），被散射到物 镜光阑外的电子就越多，而通过物镜光阑参与成像的， 电子强度就越低，即衬度与质量、厚度有关，故这种衬 度称为质量－厚度衬度（ Mass-thickness contrast ， 简称 质厚衬度）。 下面我们推导质厚衬度公式。设单个原子的的散射截面（即单位电子流 密度的入射电子通过单位厚度的一个散射靶的物质受到的散射几率） 它表示入射电子穿透厚度为 dt 的试样被散射到物镜光阑外（事实上是某 个角度 q 外）的几率。当入射到 1cm2 样品的电子数为 n 时，透过厚度为 dt 的样品后有 dn 个电子被散射到物镜光阑外，其电子数减少率为 上式说明，强度为 I 0 的入射电子穿透总散射截面为 Q ，厚 度为 t 的样品后，透过物镜光阑参与成像的电子束强度 I 随 乘积 Qt 的增大而指数衰减。 第二节 衍射衬度形成机理明场像与暗场像 衍射衬度的来源 衍射衬度是一种振幅衬度，它是电子波在样品下表面强 度（振幅）差异的反映，衬度来源主要有以下几种：1.两个晶粒的取向差异使它们偏离布拉格衍射的程度不同 形成的衬度； 2.缺陷或应变场的存在，使晶体的局部产生畸变，从而使其 布拉格条件改变而形成的衬度； 3.微区元素的富集或第二相粒子的存在，有可能使其晶面间 距发生变化，导致布拉格条件的改变从而形成衬度，还包括第 二相由于结构因子的变化而显示衬度； 4.等厚条纹，完整晶体中随厚度的变化而显示出来的衬度； 5.等倾条纹，在完整晶体中，由于弯曲程度不同（偏离矢量 不同）而引起的衬度. 1.3 衍射衬度成像的特点 1.衍衬成像是单束、无干涉成像，得到的并不是样 品的真实像，但是，衍射衬度像上衬度分布反映了样 品出射面各点处成像束的强度分布，它是入射电子波 与样品的物质波交互作用后的结果，携带了晶体散射 体内部的结构信息，特别是缺陷引起的衬度； 2.衍衬成像对晶体的不完整性非常敏感； 3.衍衬成像所显示的材料结构的细节，对取向也是 敏感的； 4.衍衬成像反映的是晶体内部的组织结构特征，而 质量厚度衬度反映的基本上是样品的形貌特征。 第二节 衍射衬度形成机理明场像与暗场像 前面已经讲过,衍射衬度可来源于晶