提拉法牦犻犗2化学膜厚度与折射率的变化规律研究-强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ７ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．７ 　 　 年 月 ， ２０１４ ７ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｌ． ２０１４ 　 　 提拉法犛犻犗２化学膜厚度与折射率的变化规律研究 ， １２ ２ ２ ２ ２ ２ ２ １ 张日东 ， 严鸿维 ， 吕海兵 ， 张尽力 ， 晏良宏 ， 赵松楠 ， 王 韬 ， 雷洁红 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 西华师范大学 物理与电子信息学院，四川 南充 ； 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ） １． ６３７００９ ２． ６２１９００ 摘 要： 采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶 ＳｉＯ 膜，用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率，考察 　　 　 　 ２ 了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响。对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合，并比 较分析两种拟合的关系及其对工艺流程的作用。比较了不同浓度胶体所得到的同一厚度薄膜的折射率变化规 律。结果表明：对于同一胶体浓度下薄膜厚度与提拉速度的正相关关系，线性拟合相比幂函数拟合可以更好地 解释实验结果的规律性。同时，折射率在一定范围内也会随着提拉速度的增加而减小。镀同一厚度膜时，浓度 大的胶体膜层折射率大。通过对提拉速度和胶体浓度的控制可以得到理想的薄膜厚度与折射率。 关键词： 提拉法； ＳｉＯ 膜； 薄膜厚度； 折射率 　　 　 　 　 　 ２ 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４８４．１ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０７２００５ 　　 　 　　　　 　 　　 溶胶 凝胶法（ ）制备的 膜已经大量地应用于高功率激光装置的各种增透光学元件上。这种制  ｓｏｌｅｌ ＳｉＯ 　　 ｇ ２  ［ ］ １４ 备方法成本低、设备简单、操作简便、光学性能好且适用于大口径和形状不规则的膜层的镀制 。自从 世 ２０ ［］ 纪 年代