兆赫波检测与应用-国立交通大学光电系.pdfVIP

兆赫波檢測與應用 作者：陳韋華、蔡堯鈞 、安惠榮 兆赫波(terahertz radiation , THz)是指波長介於3.3 毫米和 11 微米之間(即頻率 100GHz～ 30THz)的電磁波，恰好位於微波與紅外光之間的間隙，詳見圖一。除此之外，1 兆赫波也常 被表示為波數33.33１ ，光子能量4.1meV 以及波長300 微米。因此，兆赫波也被稱作 次毫米波。 圖一：電磁波各波段的光譜範圍 兆赫波不同於已經發展得很完善的光學和微波技術，人們不知道如何穩定產生兆赫波的 光源，直到三十年前超快雷射的發明後，可以使用它所發射的飛秒脈衝產生兆赫波，兆赫波 才漸漸開始發展。往後，隨著超快雷射領域發展完善，兆赫波成為穩定的激發光源，許多研 究和檢測技術也得以實現。 近來兆赫波時域光譜(terahertz time-domain spectroscopy , THz-TDS)得到各界關注， 發展成一個了解各種材料在遠紅外光區段的介電函數特性的光譜學技術。傳統上，通常會使 用接觸性量測技術(四點探針量測、霍爾效應量測)來獲得材料的電性( 自由電子遷移率、載子 濃度、電阻率) 。然而，這些接觸性量測技術都只能得到樣品直流方面的資訊。除此之外， 對高電阻(低摻雜)基板或低載子濃度的樣品而言，電性是很難量測到的。再者，透過比較兆 赫波穿透(反射)樣品和參考光的比率，可以同時獲得兆赫波的振幅和相位的資訊，由此可直 接推導出樣品的光學常數而不用訴諸於克拉莫-克若尼關係式。以上即為兆赫波時域光譜適 合用於非接觸性的交流電性量測的原因。 圖二：兆赫波時域光譜學(THz-TDS)系統架構圖 實驗室中此用的兆赫波系統有兩種，分別是兆赫波時域穿透式光譜以及兆赫波時域反射 式光譜，研究內容主要是透過兩套系統量測光學上薄的樣品、少量摻雜的半導體晶圓等的振 幅和相位資訊，透過傅立葉轉換和一些計算獲得樣品的折射率和吸收係數，再藉由獲得的光 學參數推得樣品的載子遷移率等電性。下圖為實驗後所量得的圖表。 圖三：藉由實驗獲得兆赫波的振幅和相位，透過傅立葉轉換和一些計算可得到樣品的電性 兆赫波除了可檢測樣品的電性外，因為毫電子伏特的光子能量和次毫米尺度的波長，在 兆赫波成像、家庭保安、生物學和醫療科學都有相對應的應用。可見下圖。 圖四：(左)使用兆赫波檢測積體電路的內部設計(右)兆赫波應用在藥物檢測 兆赫波光譜一個應用上的例子為量測物質的