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分等级ZnO纳米结构的制备及其气敏特性的研究

  摘 要 基于半导体氧化锌的气体传感器具有价格低廉,结构简单,灵敏度 高,长期稳定性好等优点,是近年来人们的研究热点之一。氧化锌材料 是典型的 n 型半导体氧化物之一,并在工业和家用检测有毒、可燃性气 体上具有广泛的应用前景。最新的研究结果表明,通过对敏感材料的形 貌的调控,气敏元件的气敏特性可以有很大的改善与提高。基于此研究 背景,本论文主要采用水热的方法,制备了具有不同形貌的 ZnO 材料, 并考察材料的气敏特性。 本论文主要以二水乙酸锌和水合肼为出发原料,采用水热法制备了 一种新颖的花状分等级结构氧化锌(ZnO)纳米材料。通过时间演化实验, 结合氧化锌的生长特性,给出了此形貌可能的生长机理。气敏特性测试 的结果表明,纳米花ZnO 传感器在 150 ℃下对 100 ppm H S 表现出较好 2 的选择性、较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。 进一步,以氯化钯为掺杂剂,考察了由于钯的掺杂对材料的表面形 貌及气敏特性影响。SEM 测试结果表明,随着钯掺杂量的增加,所制备 样品的形貌由花状分等级纳米结构逐渐向梭形结构转化。由 FESEM 和 TEM 结果可以看出,梭形 ZnO 纳米棒的长度约为 4-6 微米、直径约为 500 纳米,并具有较好的单分散性。作为对比研究,测试了纯 ZnO 和钯 掺杂梭形 ZnO 对乙醇的敏感特性。结果表明,钯掺杂 ZnO 传感器比纯 ZnO 传感器具有更好的气体敏感性能。基于钯掺杂梭形 ZnO 的敏感元件 在 275 ℃对乙醇有较好的选择性、较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。 最后,以六水硝酸锌酸锌和氢氧化钠为出发原料,采用低温水热法 I      制备了分等级自组装氧化锌(ZnO)纳米材料。利用 X 射线衍射(XRD )、 扫描电子显微镜(SEM)对所制备的ZnO 的晶体结构、表面形貌与组成 进行了表征。考察了这种分等级纳米结构 ZnO 在 150 ℃下,对 9 种不同 气体的响应情况。结果表明,基于这种分等级结构ZnO 的传感器在150 ℃ 下对 10 ppm H S 表现出较好的选择性与较高的灵敏度。 2 本论文通过以上的科研工作,研究了在水热条件下,ZnO 材料的生 长规律,考察了表面形貌对于气敏特性的影响,说明可以通过对表面形 貌的控制,实现高性能的基于半导体氧化物传感器的制作。 关键词: ZnO 分等级结构 气敏特性 II      Abstract Gas sensors based on semiconductor Oxide have the advantages of low fabrication price, simple structure, high response and good stability. It is one of the hot topic in the research field. Zinc Oxide (ZnO) is a typical n-type semiconductor and has been wild used in many areas such as gas sensors. It has been found that the gas sensing properties of devices are strongly dep

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