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气泡不良解析报告专用课件
2002/8/14 Prepared by Clio Tseng * * Bubble defect analysis report Present by :ENG Dept 2012 / 02 / 15 Catalogue 1. Defect information 2. Defect analysis 3. Correct action taken 1. Defect information 1.1 Bubble defect information : 112 Input HTH贴合气泡 24.11% 27 FV remark Defect Rate Bubble Defect Station 40003 小批量试产,成品发现27pcs气泡,信息如下: 1.2 Defect picture : Bubble defect picture show 2. Defect analysis 2.1 : 气泡分布解析 Sensor 孔 Menu 孔 1 Two sides 1.气泡分布无明显的倒向性分布 2.气泡分布在上下两端比例大 10(边角*5) Menu 孔端 11(边角*4) 数量 Sensor 孔端 结论 位置 2.2 : OCA来料异常解析 40003 采用加韵OCA, 作业时,由于轻离形与设计要求的50um不符 (实测为100um),轻离过重,导致设备无法自动撕离,需要人工手动预 撕离. 预撕离位置:OCA两侧,如图. 与气泡关系:与边角气泡会有直接关系,与所有气泡类型关系还未知 OCA设计要求 手动撕离位置 结论: 气泡与OCA来料异常有关, 真因还待验证. 3. Correct action taken 3 : 改善措施: 3.1 满足设计要求的OCA新料验证 3.2 不同OCA的验证 3.3 生产参数的优化 3.4 HTH气泡与设备相关的改善 *
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