要点真空镀膜技术.pdf

真空镀膜 真空镀膜 2005年上学期期末实验论文 2005年上学期期末实验论文 物理学院：王飞 物理学院：王飞 一、镀膜技术的历史 一、镀膜技术的历史 保护膜 保护膜 化学镀膜 化学镀膜 1817年减反射膜 1817年减反射膜 1930年出现了油扩散泵－机械泵抽气系统 （条件） 1930年出现了油扩散泵－机械泵抽气系统 （条件） 1935年单层减反射膜 1935年单层减反射膜 1938年双层减反射膜 1938年双层减反射膜 蒸镀 1965年三层减反射膜 蒸镀 1965年三层减反射膜 真空镀膜 1937年通用公司第一盏镀铝灯 真空镀膜 1937年通用公司第一盏镀铝灯 1939年介质薄膜型干涉滤管片 1939年介质薄膜型干涉滤管片 1970年出现磁控溅射技术 1970年出现磁控溅射技术 磁控溅射 1975年磁控溅射设备商品化 磁控溅射 1975年磁控溅射设备商品化 80年代后磁控溅射技术工业化 80年代后磁控溅射技术工业化 二、真空蒸镀铝膜 二、真空蒸镀铝膜 原理： 原理： 即在真空中将蒸镀材料加热蒸发产生蒸气， 即在真空中将蒸镀材料加热蒸发产生蒸气， 使其附着在基板上凝聚成薄膜。真空蒸镀属 使其附着在基板上凝聚成薄膜。真空蒸镀属 于物理气相沉积法。 于物理气相沉积法。 内容： 内容： 在两块玻璃上镀制高反射铝膜，将其组装成 在两块玻璃上镀制高反射铝膜，将其组装成 法布里－珀罗干涉仪 ，并观察氢光谱的干涉 法布里－珀罗干涉仪 ，并观察氢光谱的干涉 条纹。高反射膜镜组成的谐振腔是法布里－ 条纹。高反射膜镜组成的谐振腔是法布里－ 珀罗干涉仪的重要组成部分。 珀罗干涉仪的重要组成部分。 三、高反射金属膜 三、高反射金属膜 1.金属膜反射原理： 1.金属膜反射原理： 金属中的外壳层电子( 自由电子)并没有被原子核束缚, 当 金属中的外壳层电子( 自由电子)并没有被原子核束缚, 当 金属被光波照射时, 光波的电场使自由电子吸收了光的能 金属被光波照射时, 光波的电场使自由电子吸收了光的能 量, 而产生与光相同频率的振荡, 此振荡又放出与原来光线 量, 而产生与光相同频率的振荡, 此振荡又放出与原来光线 相同频率的光, 称为光的反射。这种电子的振荡随着深度 相同频率的光, 称为光的反射。这种电子的振荡随着深度 的增加而减小, 使电子振荡的振幅减小到原来1/e时(e为自 的增加而减小, 使电子振荡的振幅减小到原来1/e时(e为自 然对数)的深度称为穿透深度, 此穿透深度决定了金属是透 然对数)的深度称为穿透深度, 此穿透深度决定了金属是透 明还是反射, 通常大部份金属的穿透深度只有几十或几百 明还是反射,