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非球面加工技术 1.引言 1.1意义 非球面是光电系统的基本元件，与球面光学元件相比，使用非球面元件有许多优越性。首先，非球面可以获得球面元件无可比拟的成像质量，它可以有效矫正多种象差。其次，一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低成本并有效的减轻仪器重量。 以星载成像光学系统为例，使用非球面元件可以减轻20%—30%的重量；而每减轻1千克的重量，其发射的成本相应可降低5万元人民币。非球面元件能够达到甚至采用多球面元件组也无法达到的设计要求。正因为非球面有诸多的优点，所以得到了越来越广泛的应用，具体表现在如下几方面: (1) 军事方面：如卫星红外望远镜、导弹导引头、夜视仪器、导航装备等。如由于导弹导引头需要高品质、高成像质量和高可靠性，导弹导引头往往设计成非球面轮廓。 (2) 民用光电产品：如摄影镜头和取景器、变焦镜头、电影放影镜头、录像机镜头、CD/DVD的读取头、数码相机、光纤通信的光纤接头、医疗上的内窥镜等。 1.2难点 非球面零件有诸多的优点，但是它在加工中存在着许多困难，主要有以下几点：（1）非球面的面形比较复杂，表面各点的曲率不同，抛光模与加工表面无法很好的吻合，故抛光时表面难以修正；（2）非球面对其另一个平面或球面的偏斜无法用磨边来纠正，不能用定心的方法保证光学表面的同轴性；（3）非球面的检验也不能用传统的球面检验方法，需要专门的辅助设备。这些问题增加了非球面零件的制造难度，限制了非球面零件的应用。 非球面可分为旋转对称型非球面和自由曲面两种，使用最多的是旋转对称型非球面，常用的有抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等。 2.非球面零件的概念及应用 所谓的非球面光学元件是指面形由多项高次方程决定、面形上各点的曲率半径均不同的光学元件。目前光学系统应用最广泛的旋转对称型非球面，其最基本的面形是二次曲面，若选光轴为轴，非球面的顶点为坐标原点，则该二次曲面可表示为： (1.1) 式中，是非球面顶点处的曲率； 表示非球面上任一点到光轴的距离；是二次曲面系数，它与二次曲面的离心率有关，值的不同则表示不同形状的非球面，如图1.2 图1二次曲线 当K=0时，表示为一个圆，如图1.2中曲线1； 当K0时，表示椭圆。如图1.2中曲线2； 当-1(K0时，表示抛物线。如图1.2中曲线3； 当K-1时，表示双曲线的一支。如图1.2中曲线4。 将它们分别绕光轴Z旋转，就可以得到不同形状的非球面面形。 偏离二次曲面的非球面则是高次非球面。实际应用最多的是偶次非球面，它的方程可表示为： (1.2) 3.非球面的加工 非球面光学零件的加工可简单分为铣磨成型和精密抛光两个阶段。第一阶段，铣磨成型。这一阶段要能保证光学零件具有较高的面形精度（P-V ：1～2(m）；第二阶段，精密抛光。由于第一阶段零件的面形精度已得到了保证，所以精密抛光中只需去除精磨后表面的破坏层，达到规定的表面粗糙度的要求。这一阶段关键在于不改变面形，也就是要求均匀抛光。 图2 加工简单流程 3.1 铣磨加工原理 3.1.1球面铣削原理 球面铣削加工原理如图3所示。金刚石磨轮刃口通过工件顶点，磨轮轴线和工件轴线相交于O点，并且两轴夹角为α，磨具绕自身轴高速旋转，工件绕自身轴低速转动，这种运动轨迹的包络面就形成球面。 2.2.2非球面铣磨原理 非球面的铣磨原理与球面铣磨有很大的差别，非球面的铣磨采用的是金刚石单点车削方法实现的。该技术由美国国防科研机构于60年代率先开发、80年代得以推广应用的非球面光学零件加工技术。在超精密数控车床上，精确控制，直接利用金刚石刀具单点车削加工出符合光学质量要求的非球面光学零件。该技术主要用于加工中小尺寸、中等批量的光学零件，其特点是生产效率高、加工精度高、重复性好。采用该项金刚石车削技术加工出来的直径120mm以下的光学零件，面形精度达l/2～1(，表面粗糙度的均方根值为0.02～0.06mm。加工出符合光学质量要求的非球面光学零件主要用于加工中小尺寸、中等批量的光学零件，其特点是生产效率高、加工精度高、重复性好。采用该项技术加工120mm以下的光学零件，面形精度达l/2～1(，表面粗糙度的均方根值为0.～0.m。 图1.3 液体喷射抛光的实验原理图 目前国内外在这方面的研究还处于起步阶段。荷兰Delft大学的0.W. Fahnle和H.van Brug等人曾进行过实验研究，利用液体喷射抛光技术，使得平面样板玻璃BK7的表面粗糙度Ra由初始的475nm降到5nm，并且对于已抛光的样板玻璃(初始表面粗糙度Ra=1.6nm)，经过该技术的作用后，表面粗糙度没有增加。 2.3计算机控制抛光技术 计算机控制小工具抛光技术(Compute