扫描探针与近场光学显微技术.pdfVIP

扫描扫描探针与近场显微技术探针与近场显微技术 Karl WangKarl Wang Karl WangKarl Wang 上海迈培光电技术有限公司上海迈培光电技术有限公司 上海迈培光电技术有限公司上海迈培光电技术有限公司 技术背景 • 自从1982年Binning与Robher等人共同发明扫描 穿隧显微镜(scanning tunneling microscope, STM)STM)之后之后，，人类在探讨原子尺度上向前跨出了一人类在探讨原子尺度上向前跨出了一 大步，对于材料表面现象的研究也能更加的深入 了解。在此之前，能直接看到原子尺寸的仪器只 有场离子显微镜(Field ion microscopy, FIM)与电 子显微镜(Electron microscope, EM)。 • STM其原理主要是利用电子穿隧的效应来得到原 子影像，材料须具备导电性，应用上有所限制。 技术背景 • 1986年Binning等人利用探针的观念又发展出原子力 显微镜(Atomic force microscope, AFM) ，AFM不但 具有原子尺寸解析的能力具有原子尺寸解析的能力，，亦解决了亦解决了STMSTM在导体上的在导体上的 限制，应用上更为方便。 • 自扫描式穿隧显微镜问世以来，许多类型的探针显微 镜不断被开发出来。如：扫描式穿隧显微镜(STM)， 近场光学显微镜(NSOM)，磁力显微镜(MFM)，化学 力显微镜(CFM)，扫描式热电探针显微镜(SThM)， 相位式探针显微镜(PDM)，静电力显微镜(EFM)，侧 向摩擦力显微镜(LFM)，原子力显微镜(AFM)等。 SPM家族 **其中，AFM 、SNOM/NSOM是最为常用的扫描探针显微镜。 原子力显微镜（AFM ） • AFM是以针尖与样品之间的属于原子级力场作用 力作为探测手段获取表面形貌的显微工具。 •• AFMAFM可适用于各种的物品可适用于各种的物品，，如金属材料如金属材料、、高分子高分子 聚合物、生物细胞等，并可以操作在大气、真空、 电性及液相等环境，进行不同物性分析，所以它 可以用于获得包括绝缘体在内的各种材料表面上 原子级的分辨率，其应用范围无疑比其它显微分 析技术更加广阔。 AFM 工作原理 AFM结构 • AFM之探针一般由悬臂梁及针尖所组成，主要原 理系藉由针尖与样品间的原子作用力，使悬臂梁 产生微细位移产生微细位移，，以测得表面结构形状以测得表面结构形状，，其中最常其中最常 用的距离控制方式为光束偏折技术。 • AFM 的主要结构可分为探针、偏移量侦测器、扫 描仪、回馈电路及计算机控制系统五大部分。 • 探针一般由成份Si、SiO 、SiN4、奈米碳管等所 2 组成。 原子力显微镜（AFM ） • 目前市面上有三种基本操作模式，可区分为接触 式（contact ）、非接触式 （non-contact ）及间歇 接触式接触式 （（或称为轻敲式或称为轻敲式，，intermittent contact or intermittent contact or tapping ）三大类。 接触式及非接触式易受外界其它因素，如水分子吸引，而 造成刮伤材料表面及分辨率差所引起之影像失真问题，使 用上会有限制，尤其在生物及高分子软性材料上。 AFM 工作模式 • 接触式(Contact mode)：利用探针针尖与待测物表面间原 子力交互作用 （接触），使非常软的探针臂产生偏折，当 激光照射探针臂背面，被探针臂反射后经光电探测器 （激 光相位探测器）来记录探针臂偏移变化，探针与样品间产 生的原子间排斥力约为10-6至10-9牛顿。但是，由于探针 与表面有接触，因此过大的作用力仍会损坏样品，尤其是 对软性材质如高分子聚合物、细胞生物等。不过在较硬材 料上通常会得到较佳的分辨率。 AFM 工作模式 • 非接触式(Non-contact mode)：为了解决接触式 AFM可能损坏样品的缺点，非接触式AFM利用原 子间的长距离吸引力--范德瓦尔斯力来运作。非接 触模式下探针必须不与待测物表面接触，利用微 弱的范德瓦尔斯力对探针之振幅改变来反馈。探