反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度.pdfVIP

第 卷，第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 ， ， 2 0 3 Vol . 20 No . 3 pp283-285 年 月 ， 2 0 0 0 6 S ectrosco and S ectral anal sis June 2000 p py p y !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度 杨 鹏 徐志凌 徐 雷 复旦大学物理系，三束材料改性国家重点实验室，200433 上海 摘 要 本文报道一种简单的方法，从平面介质薄膜的反射干涉光谱来计算薄膜的光学常数和厚度。当一 束光照射在基板上的介质膜上时，由于膜上下界面反射光的相干，会使反射光谱的曲线有一定的波动。我 们对反射相干光谱进行理论分析，给出计算公式，从测量曲线中的实验值得出薄膜的光学常数 、 以及厚 7 a 度等参数。此种方法简单可行，而且易于编程处理。 主题词 薄膜， 反射干涉光谱， 折射率， 厚度 角度，实际测量中此角度一般很小，对测量的影响可以忽略不 引 言 计），由于多次反射，在膜上表面有一系列的反射光，它们的幅 度分别为 、 、 ……。 A1 A2 A3 对于薄膜厚度和折射率的测量，现在通常利用的是棱镜 耦合导模法和椭偏法。棱镜耦合导模法通过测量波导内传播 模式的耦合角度获得膜厚及折射率，利用耦合模来测量，测 量精度与耦合模数目有关，一般要求做到厚膜以形成多个光 导模；椭偏法由于对膜厚的均匀性要求比较高，测量和计算 比较复杂，所以人们一直在探讨用简便可行的方法来测量薄 ［］ 膜的厚度及光学常数。早在五十、六十年代，Hall 1 等通过 测量薄膜在红外的反射和透射谱来计算薄膜厚度和光学常 ［］ 数。Manifacie 2 等用测量薄膜透射谱的方法来计算膜厚和光 学常数，已经有文献报道了对这种方法的应用，并得出了较 ［］ 为可信的结果3 。本文报道从薄膜的反射干涉光谱出发，测 Fi .1 Reflection of li ht b a sin le film g g y g 量薄膜的光学常数 、 及厚度。同 的方法相比， 考虑到光从光疏媒质入射到光密媒质，且入射角小于布 7 a Manifacie