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第 44 卷增刊 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 44, Suppl. 2010 年 9 月 Atomic Energy Science and Technology Sep. 2010 基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术 杨蒙生，邢丕峰，高党忠，马小军，李朝阳 （中国工程物理研究院，四川绵阳 621900 ） 摘要：研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑 Au 、Mo 膜进行测量。结 果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。 关键词：共焦；薄膜；厚度；测量 中图分类号：TL33 文献标志码：A 文章编号：1000-6931 （2010 ）S0-0576-03 Measurement of Thickness of Foils Based on Conjugated Confocal Micro-Displacement Sensors YANG Meng-sheng ，XING Pi-feng ，GAO Dang-zhong，MA Xiao-jun ，LI Chao-yang （China Acadeny of Engineering Physics, Mianyang 621900, China） Abstract: The measurement of the thickness of foils is crucial to the studies on the equation of state (EOS) based on laser driven shock waves. The new method by means of conjugated confocal micro-displacement sensors was studied. An instrument was set up, and some warped foils were measured with it. The results indicate that the curve of specimen surface is avoided, and the precision is identical to the interfrometer. Key words ：confocal ；foil ；thickness ；measurement 采用激光加载方式可以得到TPa 压强下材 密结合，测量精度能够满足要求[3] 。当薄膜厚度 料的状态方程信息，这对于 ICF 研究、天体及 较大，或材料为 Mo 、W 、Ta、U 等应力大、难 地球物理具有重要意义。在这一研究方法中， 展平金属时，薄膜与平晶不能完全贴合，两者 激光驱动厚度仅为几十 μm 的薄膜（台阶）样 之间存在缝隙从而严重影响测量精度。为实现 品产生冲击波，根据薄膜（台阶）厚度及冲击 自支撑薄膜厚度及分布的准确测量，构建了 1 波传播时间可计算出冲击波传播速度，进而得 台采用两支光谱共焦位移传感器的测量系统。 到状态方程参数[1-2] 。薄膜厚度的准确测量是影 响实验精度的关键环节，物理研究人员分析， 1 测量原理 测量精度需要达到 1％才具有实际意义。目前， 1.1 光谱共焦传感器原理 这类自支撑薄膜的厚度测量无标准仪器与标 光谱共焦位移传感器原理如图 1 所示，由 准方法。普遍采用的方法是将薄膜在平晶上展 光源、透镜组、控制箱等组成。光源发出 1 束 平，用台阶仪或白光干涉仪等仪器测量薄膜与