大口径光学元件功率谱密度的统计法测量.pdfVIP

第22卷第8期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22，No．8 2010年8月 HIGHPoWERLASERANDPARTICLEBEAMS Aug．，2010 文章编号： l001—4322(2010)08—1905—04 大口径光学元件功率谱密度的统计法测量。 徐建程h2， 许 乔2， 柴立群2 (1．浙江师范大学信息光学研究所，浙江金华321004l2．成都精密光学工程研究中心，成都610041) 摘要： 针对ICF系统要求。提出了～种基于统计理论的大口径光学元件功率谱密度测量方法。该方法 将大口径波前划分成足够多个子区域，分别求得每个子区域波前的功率谱密度，根据统计理论可将大口径波前 功率谱密度表示为各个子区域波前功率谱密度的加权平均，其权重因子是各子区域对应的面积。模拟计算和 实验结果验证了统计法测量的有效性，并表明当子区域个数大于等于8X8时，统计法测量和子孔径拼接测量 得到的功率谱密度吻合较好。统计法测量对平台移动精度和环境稳定性要求不高，可应用于大口径光学元件 功率谱密度的过程检测。 关键词：功率谱密度；统计理论；大口径光学元件；子孔径拼接 中图分类号：0436．1 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP1905 惯性约束聚变系统(ICF)需要大量大口径高精密光学元件，而且对所使用光学元件的全频段制造误差有 参数阳1分析光学元件的低频和高频制造误差，采用功率谱密度(PSD)曲线描述¨。51中频制造误差，即空间频率 为0．03～8．30mm-1的波前误差。当前，还没有一个干涉仪能够测量大口径光学元件整个中频段的PSD，主 要采用小孔径高分辨力干涉仪进行子孔径拼接方法测量[6]，即用子孔径波前拼接得到全孔径波前，然后计算 PSD。然而，全孔径波前PSD只能判断光学元件中频误差是否满足ICF系统要求，不能确定不满足要求的中 频误差所对应的空间位置[7]，也就不能有效指导光学元件的返修，因此子孔径拼接方法测量适用于大口径光学 元件中频误差的终检，但不适于过程检测。另外，子孔径拼接方法测量的精度主要取决于拼接平台系统的精 度[8。9]，对平台的移动精度和环境的稳定性要求较高，检测成本也较高。为降低检测成本，有效指导光学元件的 返修，本文提出了大口径光学元件PSD的统计测量方法。 1 测量原理 假设待测大口径光学元件的波前分布为f(x，j，)，其z和Y方向的空间长度分别为L，和L，，将待测波前 (z，y)在第i个区域外的值为0，则 N 厂(z，y)=∑厂(z，y) (1) 设大口径波前的频谱为V(u，∥)，，(z，y)的频谱为Ui(“，口)，根据线性理论可知 N V(“，口)=∑U。(z，y) (2) 大口径波前的功率谱密度…1可表示为 ～ DPs．v(“，础)一IV(u，u)I 2／L，L，一 2／L工，=I∑Ui(“，口)I i鲁1 ． N N N 可表示为 ·收稿日期：2009—09—14；修订日期：2010—01’29 基金项目：浙江师范大学青年基金项目(KYJ06Y09108)；浙江师范大学博七科研启动基金项目(zc304010012) 作者简介：徐建程(198l一)，男。博士，讲师。主要从事信息光学和精密光学检测；xujiancheng@zjnu．cn。 强 激 光 与 粒 子 柬 第22卷 岛…ctan[黜