第3章_常用传感器与敏感元件.ppt

绪 论 工程测量中通常把直接作用于被测量，并能按一定方式将其转换成同种或别种量值输出的器件，称为传感器。 由于传感器处于测量装置的输入端，是测试系统的第一个环节，其性能直接影响整个测试系统，对测试精度至关重要。 深入研究传感器类型、原理和应用，研制开发新型传感器，对于科学技术和生产工程中的自动控制和智能化发展，以及人类观测研究自然界事物的深度和广度都有重要实际意义。 一、磁电式传感器 磁电式传感器是将被测物理量转换成感应电动势的一种传感器，又称电磁感应或电动力式传感器。 从电工学知，对于一个匝数为N线圈，当穿过该线圈的磁通量Φ发生变化时，其感应电动势为： 线圈感应电动势的大小，取决于匝数和穿过线圈的磁通变化率。磁通变化率与磁场强度、磁场磁阻、线圈的运动速度有关，改变其中一个因素，都会改变线圈的感应电动势。按照结构不同，磁电式传感器可分为动圈式和磁阻式。 1、动圈式 动圈式分为线速度型与角速度型。在永久磁铁产生的直流磁场内，放置一个可动线圈，当线圈在磁场中作直线运动，所产生的感应电动势： 式中 B—磁场的磁感应强度； l —单匝线圈有效长度； N—线圈匝数； v—线圈与磁场的相对运动速度； θ—线圈运动方向与磁场方向的夹角。 当θ=90o时，式（3-31）可写成 当均为常数时，感应电动势大小与线圈运动的线速度成正比，这就是一般常见的惯性式速度计的工作原理。 角速度型传感器，线圈在磁场中转动时产生的感应电动势： 式中 w—角速度； A—单匝数线圈的截面积； k—与结构有关的系数。 当N、B、A 均为常数，感应电动势e与线圈相对磁场的角速度成正比，这种传感器用于转速测量。 将传感器中线圈产生的感应电动势通过电缆与电压放大器联接时，其等效电路如图3-33所示。等效电路中的输出电压 (3-34) 图 3-33 动圈磁电式传感器等效电路 对不使用特别加长电缆时，CC可以忽略，并且如果RL远大于Z0，放大器输出电压uL≈e。感应电动势经放大、检波后即可推动指示仪表，显示速度。如果经过微分或积分网络，可以得到加速度或位移。 2、磁阻式 磁阻式传感器的线圈与磁铁彼此不作相对运动，由运动着的物体改变磁路的磁阻，而引起磁力线增强或减弱，使线圈产生感应电动势。其工作原理及应用实例如图3-34所示。 磁阻式传感器主要用来测量转速、偏心量、振动等。 图3-34 磁阻式传感器工作原理及应用 二、压电式传感器 压电式传感器是一种可逆型传感器，既可以将机械能转化成电能，又可以将电能转化成机械能。这种传感器具有体积小、质量小，精确度及灵敏度高等优点。 压电传感器的工作原理是利用某些物质的压电效应。 1、压电效应 某些物质，当受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，某些表面上出现电荷，形成电场。 压电效应是可逆的，即将压电晶体置于外电场中，其几何尺寸也会发生变化。这种效应称之为逆压电效应。 以α—石英晶体为例，介绍压电效应。（自学） 实验证明，压电效应和逆压电效应都是线性的。即晶体表面出现的电荷的多少和形变的大小成正比，当形变改变符号时，电荷也改变符号；在外电场作用下，晶体形变的大小与电场强度成正比，当电场反向时，形变改变符号。 以石英晶体为例，极化强度Pxx与应力σxx成正比 式中 Fx——沿晶轴Ox向方向施加的压力； d11——石英晶体在x方向力作用下的压电常数； ly——切片的长； lz——切片的宽。 2、压电材料（自学） 常见的压电材料大致分为三类：压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。 石英是压电单晶中最具有代表性的，应用广泛。石英的压电常数不高，但具有很好的机械强度和时间、温度稳定性。 现代声学技术和传感器技术中普遍应用的是压电陶瓷，压电陶瓷制作方便，成本低。 高分子压电薄膜易于大批量生产，具有面积大、柔软不易破碎，可用于微压测量和机器人的触觉。 3、压电式传感器及其等效电路 在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极。当受外力作用时，在两个极板上将积聚数量相等、而极性相反的电荷，形成了电场。因此压电传感器可以看作是一个电荷发生器，又是一个电容器，其电容量C为： 式中 ε——压电材料的相对介电常数， δ——板极间距，即晶片厚度； A ——压电晶片工作面的面积。 压电式传感器是一个具有一定电容的电荷泵。电容器上的开路电压u0与电