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MAXUMII过程色谱仪在多晶硅生产中的应用-西门子中国
MAXUM II
过程色谱仪在多晶硅生产中的应用
多晶硅生产的在线监测
迅速发展的光伏发电技术 太阳级多晶硅
由于太阳能安全可靠、成本低、无污 光伏电池的原材料是硅(Si ),过去
染,所以其需求正不断上升;而且因为 主要来源于硅的次品和废品,是在多
电能成本不断增加,与传统能源相比, 晶硅的提纯或者在铸锭和晶片制造过
太阳能的成本更具有竞争力。太阳能取 程中生产出来的;但是所谓的“太阳
之不尽,用之不竭,将主宰未来的整个 级”硅的需求有别于半导体用硅的需
能源结构。 求。一方面,太阳级多晶硅的纯度没
有必要达到半导体级那么高;但是因
利用太阳能电池将太阳能直接转换为电 为产能巨大必须保证质量稳定。因
能的技术称为光伏发电技术(PV )。 此,需要进行过程分析,主要是过程
多块电池串联在一起,并封装在玻璃板 气相色谱仪,以监控生产过程,确保
(图 3 )内形成一个模块电池。由于全 纯度要求,并优化多晶硅生产,提高
世界对太阳能的需求不断上升,近几年 产品质量和产品产量。
也逐步扩大了太阳能电池和光伏组件的
生产。自从 1954 年第一个太阳能电池 西门子是享誉世界的过程分析仪和解
问世以来,正以平均每年 40% 的速度 决方案提供商。在多晶硅领域拥有丰
增长。全世界太阳能电池的生产主要集 富的经验,可对工艺过程控制和优化
中在美国(50%)、日本(24%)和德 提供最佳的解决方案。
国(18%),但是近年来其它国家已经
计划或者正在新建很多工厂。
Process Analytics
Answers for industry.
多晶硅的生产
半导体级硅
地壳中硅元素含量占第二位,并以氧化物
(沙子和石英)或者硅酸盐(花岗岩,粘
土,云母)的形式存在。用于半导体物质
时,硅必须是高纯的。对于太阳能电池,
硅必须达到 99.9999 的纯度(俗称“6 个
9 或者 6N 的纯度)。用于电子行业时要更
纯,通常是 9N 到 11N 。要达到半导体用
硅,无论是太阳能电池还是集成电路,都
必须要经过处理。
冶金级硅(MG-Si)
将从硅矿中获取的石英和煤、焦煤、木屑
或者木炭放在炉中及硅粉。将液态硅从炉
图 1 :多晶硅生产流程图(图中圆点为分析仪采样点)
中倒出来,再进一步提纯,制取到的物质
就是冶金级硅(MG-Si)。
采样点/采样流路 测量目的 测量组分 量程 西门子分析仪
1 H 补充气 H 的纯度 H O,
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