二次中性粒子质谱分析仪介绍.PDF

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2017-10-14 发布于天津
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二次中性粒子质谱分析仪介绍.PDF

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二次中性粒子质谱分析仪介绍

(Secondary Neutral Mass Spectrometer, SNMS) (1 ppb) (Depth profile resolution 1 nm) (Lateral resolution 1µm) (Without Matrix Effect) SNMS (Post-ionization) SNMS (Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS) SNMS (SIMS) Auger (AES) X (XPS) e-gas SNMS Laser SNMS LASMA (Laser Mass Analyzer) (Secondary Neutral Mass Spectrometer, SNMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS) (Post-ionization) AES AES 10nmXPS SIMS 106 SIMS, SNMS “Matrix Effect”(1,2,3) (1,2) SIMS SIMS “MCs+”(3) (ppm) “Matrix (ppb) Effect” 10nm SNMS 1nm SNMS Auger (AES)X “Matrix Effect” (1,4) (XPS) AES SIMS 0.1% XPS 0.01% (4) SNMS SIMS SIMS 2 (4) (b)SNMS 1 µm AES 3.5nm