电浆辅助干式蚀刻之基板对位装置与方法-AOIEA自动光学检测设备.PDF

電漿輔助乾式蝕刻之基板對位裝置與方法 林敬智 工業技術研究院 雷射應用科技中心 cclin@itri.org.tw 摘要 本研究應用於次世代平面顯示器 AMOLED 薄膜封裝系統之電漿輔助乾式蝕刻設備，主 要針對有機發光元件 (OLED)之封裝層在進行蝕刻圖案化前，需透過視覺裝置與演算法將玻璃 基板與金屬遮罩之疊合誤差進行補償，以滿足圖案化精度需求。此系統為台灣自製具高精度 對位與金屬遮罩圖案化的電漿輔助乾蝕刻設備，搭配AMOLED 製程整合成一套Turnkey 薄膜 封裝系統。 關鍵字：電漿輔助乾蝕刻、基板對位、影像幾何比對 壹、前言 OLED顯示器具有材料成本減少，重量大幅減輕，面板結構簡化，光利用效率高的特點。 在強調節能環保的年代，OLED顯示器與傳統顯示器相比具有明顯的優勢。此外， OLED 元 件可製作於塑膠基板等軟板上，因此