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测量表面倾角对差动共焦瞄准信号影响分析.pdf
第26卷第8期 光学学报 V01．26，No．9
2006年8月 ACTAOPTICASINICA
文章编号：0253—2239(2006)09—1363—4
测量表面倾角对差动共焦瞄准信号影响分析
张建寰 周军现
(厦门大学机电工程系，厦门361005)
摘要： 普通共焦显微镜的轴向响应特性，因受到被测量表面的倾斜角影响引从而起轴向响应特性变化，而应用差
动共焦光学系统对超精密加工的表面进行瞄准测量时，差动系统的瞄准信号也受到影响，并进而影响到测量系统
对加工表面的测量精度及分辨特性。通过对差动共焦测量系统输出信号理论模型的分析得出被测量面的倾斜角
变化不影响差动共焦输出信号零点位置；倾角在一定范围内变化时不影响瞄准测量分辨力的结论，并给出了实验
分析结果。
关键词：光学测量；差动共焦显微镜；瞄准信号；分辨力
中图分类号：0432．2 文献标识码：A
EffectofTilt ofSurfacetobeMeasuredonDifferential
Angle
Confocal
MicroscopePointingSignal
Zhou
JianhuanJunxian
Zhang
andElectrical 361005)
ofMechanical
(Department Engineering，XiamenUniversity，Xiamen
Abstract：Theaxial ofconventionalconfocal isaffectedthetilt ofthesurfacetobe
response microscope by angle
measured．Whenthe machinedsurfaceismeasuredwith methodbasedonthedifferential
ultra—precisely pointing
confocal tilt ofthesurfacetobemeasuredinfluencesthe wellasthe
microscope，theangle pointingsignal，as
thebasisofthe ofthetheoreticalmodelofthe
andresolutionofthetreatedsurface．0n
measuringaccuracy analysis
ofdifferentialconfocal isconcludedthatthezero is ofthetilt of
outputsignal microscope，it pointindependentangle
surfacetobe andtheresolutionofthe isnotaffectedwiththetilt inacertain
measured pointingsignal angle range．
The resultsarealso
experimental presented．
Key
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