测量非连续曲面的偏振光差动像散传感技术.pdfVIP

! # ·$ ! 第 卷 第 期 年 月 16 5 2005 5 VOl.16 NO.5 Ma 2005 JOurnal O O tOelectrOnics Laser y f p 测量非连续 曲面的偏振光差动像散传感技术 ! ! ! 邱 丽荣 丁 雪梅 赵 维谦 马宏 文 哈尔滨 工业 大学 超 精 密光 电仪 器 工 程研 究 所 黑龙 江 哈尔滨 150001 摘 要 提 出一 种基 于激 光偏 振 光 差 动像 散 原 理 的非 连 续 曲面 绝 对 Y Z 检 测 方 法 与 技 术 该 方 法 依 据 被 测 表 面反 射 到位 于两 柱 面镜 焦 面 焦后 等距 放 置 的两探 测 器 上 的偏 振 光 的形 状 再 经 两 探 测 器 探 测 信 号 差 动相 减 强 归 处 号 维 被 测 的绝 触 发 [ 和光 一 化 理 得 到 聚焦误 差 信 进 而 达 到 对 非 连 续 三 表 面 对 测 量 和 准 偏 振 光 差 动像 散 传 感 器 中 由于 引入 偏 振 光 入 射 和偏 振 分 光 镜 分 光 使 构 成 的偏 振 光 差 动 像 散 检 测 技术 有 效 抑 制 光 源 波 动 光 学 器 件 间光束 的多次 反 射 等对 测 量 结 果 的影 响 显 著 改 善 了差 动 像 散 离 焦 检 测 技 术 的抗 干扰 能力 和线 性 该 光 学传 感 器 的测 量 范 围为 10 m 分 辨 力 优 于 0.