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用于并行共焦测量的DMD控制方法研究余卿。等 用于并行共焦测量的DMD控制方法研究 of in ResearchOntheControIMethodDMDUsedParallelConfocaI 余 卿 在长彩 花 伟 叶踌若 (华侨大学机电及自动化学院，福建厦门361021) 摘要：激光共焦测量采用并行的方式可以有效提高测量效率，但用于并行共焦测量的光分束器件普遍存在制作困难、价格偏高的 不足。从数字微镜器件的空间光调制机理人手，主要研究数字微镜器的控制方法，通过构建任意所需的点光源阵列，实现了并行共焦 测量。结果表明，测量装置可根据不同的被测物便捷地更换点光源参数；测量装置具有很好的柔性，且测量误差小。 关键词：并行共焦测量测量效率数字微镜器件空间光调制点光源阵列柔性 中图分类号：TN247 文献标志码：A methodforlasercoafocalmeasurementeffectiveeP“llancethe themostofthe may efficiency，but optical Abstract：Adoptingparallel measuring for confocalmeasurementaredifficulttomanufactureand withthe divide spatiallight devices(ODD)usedparallel expensive．Starting of mieromirror controlmethodforitis confocMmeasurementis modulationmechanism device(DMD)。the digital mainlyresearched；parallel realized desired lestresultsindicatethatthe of canbe in pointlight easily throughestablishingpointlightarray．The parameters changed accordancewithdifferent the device andsmallmeasurementerror． measured，thus possessesflexibility object measuring good measurementMeasurement mieromirror modulation confocal device(DMD) Keywords：Parallel efficiencyDigital Spatiallight Point lightarrayFlexibility 0引言 1 DMD及其空间光调制特性 对于各种零件微表面形貌的测量，要求有较高的 DMD由一定像素的微镜阵列构成。有多种规格：