用于测量曲面间隙的电涡流传感器线圈.pdfVIP

堡墨型!业!!：!!型清华大学学摄(自然科学版)2006年第d6卷第2期 6／35 CN1I2223／N J Univ(Sci＆Teeh)，2006，V01．46，No．2 80j83 Tsinghua 用于测量曲面间隙的电涡流传感器线圈 丁天怀， 陈祥林 (清华大学精密仪器与机械学系，精密测试技术及仪器国家重点实验审，北京100084 摘要：呆用电涡流传感器测量两曲面间的微小间隙时，为 采用电涡流传感器测量曲面间的微小闭隙时， 了使小外径的薄形曲面线圈满足线性测量范围及灵敏度的 如图l所示，传感器敏感线圈贴附在其中的非金属 要求，采用筒化目标函数的设计方法，在线圈电参数计算的 表面上，使得线圈的形状随贴附面的形状发生改变 基础上，结合线圈磁场的分布规律，对曲面线圈的性能加以 而变成了曲而线圈。线圈几何形状的改变必将引起 分析和预测，实现探头线圈参数的优化设计。根据求解的结 其磁场分布的变化，从而影响线圈的测量特性。同 果，以线径为50pm的漆包线绕制外径为10mlxl的线圈进行 时，由于受到测量夺间条什的限制，榆测线圈外径 了试验。结果表明：探头线圈满足测量范围及灵敏度的要 小，厚度薄，而电涡流传感器的线性测量范围与线圈 采，且具有良好的线性度。 的尺寸有很大关系。电涡流传感器传统的模型试验 关键词：电涡流传感器；曲面线圈；间隙测量；优化设计 的设计方法需反复绕制线圈，并不断宴测修IF，难以 2121 中图分类号；TP 文献标识码：A 全面分析各结构参数及转换电路形式等有关H素之 000 018004 文章编号：1 0054(2006)。2 间的相互影响。 current for 金属面 Eddy sensorcoil measuring between curvedsurfaces gaps DING 敏感线幽 Tianhuai，CHENXianglin ofPrecisionMeasurement (StateKeyLaboratory Technology and ofPrecisionInstrumentsand Instruments，Department Meehanotogy，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) 非金属面 Abstract：Aacurfew[sensorwithasmallthincurvedcoilwas eddy tonlea…esmall betweedtwocurvedsurfaces．。lhe 图1曲面间隙测量示意图 developed gaps was the sens