应用介电泳力於微圆柱阵列式微粒子分离晶片之制作与研究.PDF

南台科技大學 機械工程研究所 碩士學位論文 應用介電泳力於微圓柱陣列式微粒子分 離晶片之製作與研究 The Fabrication and Study of Chip with Micro Cylindrical Post Array for Separating Micro Particles by Dielectrophoresis 研 究 生：韓文祥 指導教授：魏慶華 中華民國九十五年七月 I 南台科技大學 機械工程研究所 碩士學位論文 應用介電泳力於微圓柱陣列式微粒子分 離晶片之製作與研究 The Research and Fabrication of Chip with Micro Cylindrical Post Array for Separating Micro Particles 研 究 生：韓文祥 指導教授：魏慶華 中華民國九十五年 II 摘 要 本研究主要探討微圓柱陣列式微粒子分離器之微流體(Micro fluidic)晶片設 計與製作，微圓柱陣列之結構以 SU-8(高分子材料)利用微機電製程技術製作於微 管道中 ，各個微圓柱之直徑 50μm ，高度 45μm ，再利用管道前後端之電極通入直 流電壓，使管道內產生非均勻電場，造成微小粒子在微圓柱陣列周圍受到負介電 泳力之作用，而在微管道中產生被分離與集中之現象。 主要之研究項目為 ：（I）微流道與微圓柱陣列排列方式之設計 ，分別為平行 式陣列與交錯式陣列，（II）利用 CFDRC商用軟體模擬電場分佈情況與粒子流動 現象 ，（III）實驗探討微圓柱陣列周圍之介電泳力對粒子產生分離與集中之影響 參數。 模擬及實驗之微粒 （乳膠粒，直徑 16μm）與導電液 （DI Water）之導電度分 別為 0.009 S/m 與 0.01 S/m， 模擬結果得知，兩種不同排列之圓柱陣列區，在直 流電場作用下，均使電力線通過微圓柱周圍，產生高低電場區域，形成非均勻的 電場 。實驗結果顯示 ，在電極間距為 0.8cm 與 2.5cm ，能驅動粒子移動之最小電壓 分別為 20V 與 50V；在電場強度為 60V/mm之下，可使極化後之微粒受負介電泳作 用，從導電液中分離出來，以群聚的方式 集中於圓柱周圍電場強度較弱的區域， 若將電場強度提高至 110V/mm ，此時微粒受電動力的作用 ，移動速度加快 ，可造成 每個微圓柱只捕捉單一微粒在負介電泳力作用較強的微圓柱區域的現象。 實驗觀察和軟體模擬結果均顯示，粒子在 介電泳力的操控下可集中於微圓柱 周圍，且使粒子與流經圓柱陣列之流體產 生分離之現象，此結果可利用於生物晶 片，成為生物顆粒自動化分離與操控之平台。 關鍵字 : 微機電製程技術、介電泳力、微圓柱陣列 i Abstract This research studied the design and fabrication of microfluidic chip with micro cylindrical posts array for separating and concentrating mi