蓝宝石衬底片翘曲度检测方法-中国有色金属标准质量信息网.DOC

目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 方法概述 1 5 测试方法 1 6 样品 3 7 测量步骤 3 8 报告 4 9 精密度 5  本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准主要起草人：魏明德、刘逸枫、黄朝辉。 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 范围 本标准定性的提供了测量蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注明年代的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 12964 硅单晶抛光片 GB/T 12965 硅单晶切割片和研磨片 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测量方法 术语和定义 GB/T14264《半导体材料术语》中确立的术语和定义适用于本标准。 自由无夹持晶片中面与中面平面的中面平面是由小于晶片称直径。 与晶片的正表面和背表面等距离点的轨迹。 方法概述 将蓝宝石衬底片置放在基准平台的三个支点上，三个点形成一个