高科技产业挥发性废气处理技术及操作处理成本.pdfVIP

高科技產業揮發性廢氣處理技術及操作處理成本 一、前言 高科技產業為現階段國家工業發展重心，再 加上高科技產業之群聚現象，對 於環境造成相當大之區域負荷，有別於傳統產業。高科技產業在製造過程中為確 保品質，經常使用大量易揮發性的有機溶劑清 洗，其衍生的揮發性有機物 （ ） (VOCs) ，可能經由逸散或排放管道進入大氣環境中1 。 由環保署空氣品質監測資料顯示， VOCs 及 NOx 等臭氣前驅物質與光反應 所產生的臭氧，有取代懸浮微粒，成為影響空氣污染指數 (PSI)的主要污染物的趨 勢。因此加強管制 VOCs 排放乃是改善空氣品質的當務之急。環保署因此在過去 幾年陸續研訂各行業之排放標準來管制 VOCs 排放，半導體製造業為其中之一。 在新標準陸續公告實施後，民眾所期望空氣品質改善的目標正逐漸達成；而業者 （ ） 對於低成本、高效率廢氣處理技術之需求則日益迫切 2