现代电容式薄膜绝对的压力传感器原理.pptVIP

MKS Confidential 1 现代电容式薄膜绝对压力传感器原理 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 在超高真空下的参考面 通过真空泵维持在高真空参考压力下 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 2 一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer) 电子部件 满度调节 线形调节 零点调节 振荡器 参考 缓存 放大 电桥 输出 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 3 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 现代电容式薄膜差压式压力传感器原理 至电子部件 隔膜 电子组件 测量面 参考面 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 4 温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 零点压力 读数范围 可控范围 压力分辨率 举例：1Torr 满量程压力传感器 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 5 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 温度控制的薄膜压力传感器系列 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 6 零点、满量程及线性 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 显示压力 输出 零点 零点 失调 满量程 失调 线性 失调 调整的比例 真实压力 满量程 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 7 误差 满量程 显示压力 读数值的%误差带 满量程的%误差带 满量程 真实压力 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 解决方法 降低温度依赖 非线性 滞后 非重复性 满量程温度系数 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 8 零点调整 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 输出信号 用螺丝刀进行零点调整 或在显示/控制仪上实施零点修正 真空条件下 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MKS Confidential 9 600系列Baratron 电容式薄膜压力传感器 满量程范围: 20mT ~ 25kT 精度: 读数值的 0.12% 分辨率: 满量程的 0.001% 温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ 温度系数 零点: 0.002% 满量程./°C 增益: 0.02% 读数值 /°C 两个继电器控制点可选 电源电压: ±15VDC 输出信号: 0 ~ 10V MKS电容式薄膜压力传感器系列 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client P