基于IEC61000-2和ISO10605标准的静电放电ESD模拟发生器的.PDF

Technical Note TN.003 TN003 ESD Simulator Calibration for IEC6100-4-2 IS010605 By Wei Huang, Jerry Tichenor, and David Pommerenke 基于IEC61000-4-2 和ISO10605 标准的静电放电 (ESD)模拟发生器的校准 1. 目的及意义 本文旨在提供ESD 模拟发生器的校准参数和性能校验方法，并将校验结果与IEC 61000-4-2 和ISO10605 标准的规定值进行对比。 2. 校准要求与设备 2.1 ESD 模拟发生器电压校验 IEC61000-4-2(2008)和ISO10605(2008)都指出，静电放电发生器的端电压，或者静电放电模 拟器的高压源都需要使用高压表或者静电电压表进行校验。 表1 ESD模拟器放电端/高压电源电压校验范围 IEC61000-4-2(2008) ISO10605(2008) 电压校准 达 ± 15 kV 达 ± 25 kV 误差范围 ± 5% ± 5% 当使用接触式高压表(100 G Ohm的输入阻抗)进行校准时, 需要让高压源对放电端进行持 续的充电，以保持电压电位，否则高压表会使放电端放电，导致电压读数慢慢减小。ESDEMC 公司的ES105-100高阻抗高压表能够满足高压校准的要求(100 G Ohm 的输入阻抗，能够测试 高达100 kV的电压，并且误差小于2%)。 由于ESD模拟发生器的放电端尖锐且放电点小，放电端和非接触式静电计之间的容性耦合 很弱，因此低于± 5% 的误差范围很难实现。并且，大多数高精度非接触式静电电压表不能够 测量高达±25 kV 的静电电压。这就需要放电端和非接触式静电计探头之间有较强的耦合。 ESDEMC公司的ES102振动电容静电计符合高压校准（具有高达1kV 自校准能力的非接触式测量） 的要求。该静电计具有已校准的外部高压源和较强的容性耦合，能够测量200V至200kV 的静 电电压，并且误差率小于2% 。 Page 1 ESDEMC Technology LLC, 4000 Enterprise Dr, Suite 103, Rolla, MO, 65409, USA Tel: (+1)-573-202-6411 Fax: (+1) 877-641-9358 Email: info@ Technical Note TN.003 TN003 ESD Simulator Calibration for IEC6100-4-2 IS010605 By Wei Huang, Jerry Tichenor, and David Pommerenke 2.2 接触式放电模式的放电电流校验 IEC61000-4-2(2008)和ISO10605(2008)都规定了ESD接触模式放电电流的波形。波形需要满 足的具体要求如下表2所示。 表2 接触模式下放电电流波形参数标准要求 标准 IEC61000-4-2(2008) ISO10605(2008) RC网络数值 1