浅谈AGC氦放电离子化检测器DID气相色谱在-中国化工仪器网.PDF

浅谈AGC 氦放电离子化检测器（DID）气相色谱 在特种气体分析中的应用 1 2 曾素芳 王非非 （1 爱尔兰AGC 仪器公司北京代表处，北京，102628；2 济钢鲍德气体有限公司，山东，250108 ） 摘要：随着气体行业的发展，尤其是特气行业的发展对气体分析仪器的要求更高，在这样的条 件下，AGC 公司氦放电离子化检测器(DID)气相色谱仪及时解决了分析行业的难题。本文着重讲述 它在高纯氦气、高纯氪气、高纯氙气、高纯氯化氢气体，砷烷等特气分析中的应用。 关键词：特气 气相色谱仪 DID The applications of AGC DIDGas Chromatography in special gas analysis Zeng sufang (AGC China, Beijing, 102628) Abstract: With the development of the science and technology, especially in the gas analysis field the instruments of analysis are required stricter and stricter. So the AGC discharge ionizition detector (DID) Gas Chromatography resolved the problems of the analysis in time. In this article discribing the applications of the DID instrument in special gas field such like high pure He, high pure Kr, high pure Xe, high pure HCl and AsH3 and so on. Key words: special gas, gas chromatography, DID 1 引言 气体产品种类很多，根据一般情况对气体的概况加以比较切合实际的分类，大至可以分为两大 类别，一类是一般工业气体，另一类就是特种气体。 一般工业气体主要包括经过空气分离设备制造的普通级的氧气、氮气和经过焦炉气分离或电解 等方法制造的普通纯度的其它种类气体。这类气体一般生产量大，但气体纯度不高。特种气体则是 在用途、纯度、品种、性能等方面都有别于一般气体的气体。特种气体种类很多，基本可以分为三 类，即高纯气体、标准气体和电子特种气体。随着现代工业的发展和信息时代的来临，特种气体在 现代工业和生活中扮演着越来越重要的角色。 2、中国特气市场现状 中国的超纯度特种气体研制始于1983 年，研究的内容为超纯气体和烷类气体。我国对于超纯 度特种气体的研究经历了 20 多年的努力，开发出了一批特种气体，可以满足中小规模集成电路用 气。到2008 年，我国超大规模集成电路和光伏太阳能电池发展异常迅猛，极大地刺激了电子气体 1 的需求。在过去的二三十年中，欧洲的林德（Linde）和液化空气(Air Liquide)，美国的AirProducts 和普莱克斯（Praxair），日本大阳日酸(Taiyo Nippon Sanso)，日本昭和电工(SDK)，以及被Air Liquide 和Linde 收购的Messer 和BOC 公司加大了对中国市场的投资，在江苏、武汉、上海等省市新建了 许多大型相关行业的工厂，这使得的中国的特气市场呈现出一片欣欣向荣的景象。 然而任何事物都不是单一存在的，特气行业的发展也不例外。特气市场蓬勃发展，气体种类增 多，纯度提高，而与之密切相关的特气分析也面临着新的挑战，特气分析技术直接影响着检测的结 果，也就是特气的质量指标，这使得质量分析的难度也越来越大，因此特气分析仪器也面临着发展 和革新，要求分析仪器必须有更高的精度，更好的灵敏度，更低的检测限。这使得先前最常用的通 用型热导检测器（TCD