脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $’ % % % ， ， ， J=5 *$’ I= *% +@KLM3LN % （ ） 1)%B%B$’ % B ??1# C/-C DEFGH/C GHIH/C !% /94O * D9N8 * G= * !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定 胡德志! （华北科技学院基础部，三河 #$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %’ ( % %’ # ) 为了提高脉冲激光制备薄膜的质量，准确掌握电声弛豫时间是关键，它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起 着决定性的作用 文中以铝靶材为例，利用经典的双温方程通过时域有限差分法（ ）得到电子、离子亚系统的 * +,-, 温度随时间和位置演化的图像，进而得到电声弛豫时间的准确值* 这样便能准确划分热烧蚀和非平衡烧蚀，从而 更好地控制激光的烧蚀过程 同时找出了电声弛豫时间随激光脉宽以及能量密度变化的规律 * * 关键词：飞秒激光，电声弛豫时间，双温方程，激光能量密度 ： ， ， !## $%%$ $%$. ##/ 两大类，即热烧蚀（有时也称为热平衡烧蚀）和非平 ［— ］ ? ; 引 言 衡烧蚀（有时也称为非热烧蚀） * 当激光脉冲宽 度大于电声耦合时间时，称其为热烧蚀，当激光脉宽 随着飞秒激光技术的快速发展，超精细微加工 小于电声耦合时间时，我们称其为非平衡烧蚀 一 * ［， ］ 得到了极大的推广 飞秒激光与金属、非金属材料 般来说，电声耦合时间大约是几个皮秒 * 当脉 * ［］ 冲激光辐照靶材表面时，由于电子质量远小于离子 相互作用的特殊性质 使得亚微米加工成为了可 能，使得精细加工技术向前迈进了一大步* 自从