测量线性工作台滚转角误差的多探头法.pdfVIP

第45卷第2期 天津大学学报 v01．45No．2 of Feb．2012 2012年2月 Journal TianjinUniversity 测量线性工作台滚转角误差的多探头法 韩林，张大卫 (天津大学机械工程学院，天津300072) 摘要：针对线性工作台运动过程中的滚转角误差，提出一种多探头测量方法．与传统的用2个位移传感器和1个 具有高平面度的感应物测量滚转角误差的方法相比，所提出的方法利用4个位移传感器，无需高平面度的感应物， 更容易实现测量．分析了各项几何误差对传感器读数的影响，利用顺序两点法采集传感器信号．根据传感器融合技 术，得到滚转角误差的差分表达式；对测量系统进行了灵敏度和仿真分析．仿真和实验结果表明了该测量方法的可 行性． 关键词：线性工作台；滚转角误差；位移传感器；顺序两点法 中图分类号：TG569 文献标志码：A 文章编号：0493．2137(2012)02—0122—06 AMulti—ProbeMethodforRollErrorMeasurementofLinear Stage HAN Da-wei Lin．ZHANG ofMechanical (School 300072，China) Engineering，TianjinUniversity，Tianjin to error Abstract：Inthis methodis measuretheroll ofalinearwork-tableits paper，amulti—probe proposed during withtheconventional sensormeasurementforwhicha movement．Compared two-displacement system sensingtarget with is sensorsare inthe measurementandthereisno flatness need high required，fouremployedproposed system fora with resultsineasiermeasurement．Influencesofindividual errors flatness，which sensingtargethigh geometric onsensor are methodisusedto fromsensors．Thediffer- readingsanalyzed，andsequential-two—po