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- 2021-06-03 发布于四川
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- | 2016-07-11 颁布
- | 2017-01-01 实施
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ICS77.120.99
H21
中华人民共和国有色金属行业标准
—
YST1124 2016
磁性溅射靶材透磁率测试方法
Testin methodon assthrouhfluxofmaneticsutterin taret
g p g g p g g
2016-07-11发布 2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
—
YST1124 2016
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。
SACTC243
: 、 。
本标准起草单位 有研亿金新材料有限公司 有色金属技术经济研究院
: 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。
本标准主要起草人 罗俊锋 万小勇 向磊 丁照崇 李勇军 何金江 徐国进 夏乾坤 刘晓 王越
Ⅰ
—
YST1124 2016
磁性溅射靶材透磁率测试方法
1 范围
、 、 。
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义 检测设备 检验过程及结果计算等内容
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
2 术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。
2.1
透磁率 assthrouhflux
p g
PTF
, 。
直流磁场从磁性靶材一面透过另一面的比率 也称磁透率
2.2
源磁场 sourcefield
, , 。
使用霍尔探头高斯计测量的贴近载物台上表面的磁场 为直流磁场 单位为Gs
2.3
参考磁场 referencefield
, 。
载物台预置靶材的上表面位置的磁场 其强度取决于霍尔探头到源磁体的距离
2.4
测
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