YS/T 1129-2016钨钛合金靶材.pdf

ICS77.160 H 72 中华人民共和国有色金属行业标准 — YST1129 2016 钨钛合金靶材 Tunstentitaniumallo sutterin taret g yp g g 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 — YST1129 2016 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC243 : 、 、 本标准起草单位 西安瑞福莱钨钼有限公司 北京天龙钨钼科技股份有限公司 厦门虹鹭钨钼工业 有限公司。 : 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 李长亮 任吉文 刘云飞 苏国平 白锋 韩蕊蕊 Ⅰ — YST1129 2016 钨钛合金靶材 1 范围 、 、 、 、 、 、 、 本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明 ( ) 。 书及订货单 或合同 等内容 本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坯。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 致密烧结金属材料与硬质合金 密度测定方法 GBT3850 / ( ) 所有部分 钨化学分析方法 GBT4324 / 金属平均晶粒度测定方法 GBT6394