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- 2021-06-03 发布于四川
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- | 2016-07-11 颁布
- | 2017-01-01 实施
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ICS77.150.99
H 68
中华人民共和国有色金属行业标准
—
YST1123 2016
铂 蒸 发 料
Evaorated latinummaterial
p p
2016-07-11发布 2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
—
YST1123 2016
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。
SACTC243
: 、 。
本标准起草单位 有研亿金新材料有限公司 有色金属技术经济研究院
: 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。
本标准主要起草人 张巧霞 张涛 王兴权 向磊 万小勇 贺昕 张玉利 王越 王永辉 贾存锋
Ⅰ
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YST1123 2016
铂 蒸 发 料
1 范围
、 、 、 、 、 、 、
本标准规定了铂蒸发料的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书及订货单
( ) 。
或合同 内容
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。
2 规范性引用文件
。 ,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文
。 , ( ) 。
件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件
/ — 海绵铂
GBT1419 2004
/ : ( )
计数抽样检验程序 第 部分 按接收质量限 检索的逐批检验抽样计划
GBT2828.1
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