金属反射镜对外差干涉椭偏测量精度的影响.pdfVIP

第36卷第2攒 中 国 激 光 Vol。36，No。2 2009年2月 l。ASERS CHlNESE．1()URNALOF February，2009 文章编号：0258—7025(2009)02—0439—05 金属反射镜对外差干涉椭偏测量精度的影响 邓元龙b2 李岳峙1 吴玉斌1 徐 剐b2 摘萎采餍声光调制器设计了一种透射式矫差干涉椭偏测最系统。实验测量f擎溱透萌笺亿铟锈(1“))膜，耧犟 和折射率测鬣误差分别达8nm和7％。采用琼斯矢量法分析了金属反射镜引起的光束椭偏化对测量结果的影响。 从光学系统t{；移出被测榉龆得到的栋定数据，可以消除金属魇射镜本身邋偏效应的影响，但无法消除退偏效廒和 方位角误差蘩溺作臻辑弓|入豹髓偏参数溺藿误差。诗箅络杀裘翡，遂稼效旋荦鞋方位蕉误差共蠢俸建雩l入懿貘浮测 鬣误差町达4nm左右，该误差与薄膜参数无关。与方位角误趋j艋似成线性必系。 关键词测馕；干涉式椭偏术；误差分析；金属反射镜；退偏效腹；方位角议整 巾强分类号 零H744．3；TH89义藏标识褊 A doi：10．3788／CJ0439 InfluenceofMetal-CoatedMirrorsonMeasurementin Accuracy Interferometric Heterodyne Ellipsometry LiYuezhilWuYubinlXu DengYuanlon91·2 Gan91·2 Mechatronics＆Control of Engineering，ShenzhenUniversity，Shenzhen，Guangdong ，’College 518060，China、 518060，@ina／ 、2ShenzhenKeyLaboratoryofAdvancedDie-ManuJacturingTechnology，Shenzhen，Guangdong AbstractAtransmission withthe of interferometerandtWO ellipsometerconfigurationheterodyne acoustcroptical the modulatorswas ofindiumtinoxideona substratewasmeasured，and investigated。Asinglelayer glass ofthe tO8nmand measurementerrors thicknessandrefractiveindex sample rangeup 7％．respectively。The metal—coated was with influenceofthe polarizatio