教案七x射线分析.pptVIP

* * * * * * * * * 二、x-ray能量色散谱仪 液氮 前放 SiLi 多通道脉冲分析仪 主放 计算机 样品 PE X—ray Be窗 低偏压 α 图4-4 x-ray能量色散谱仪示意图 三. x射线能谱仪（ＥDS） 能谱仪利用分析识别特征x-ray能量来进行成分分析。样品发射的x-ray通过铍窗进入锂漂移硅探测器。硅原子每吸收一个X射线光子就释放一个光电子，该光电子形成电子---空穴对。这些电子---空穴对被偏压收集形成电荷脉冲。脉冲的高度与x-ray的能量是对应的。前置放大器转变为电压脉冲。由主放大器进一步整形放大送入多道分析器。多道分析器按照脉冲的高度进行分类，然后对高度相同的脉冲进行累计，得到能谱图。 对脉冲高度分类 x-ray能量分类 对脉冲计数 x-ray的强度 电子＋样品 特征x-ray SiLi探测器 电离 电子空穴对 偏压 分离、收集电子空穴对 场效应管前放 脉冲 放大的电压脉冲 整形放大 多道脉冲分析器 与能量成正比的脉冲高度 脉冲计数 能量值（与元素对应） 强度值（与浓度有关） CRT展谱 Si(li)探测器 　　当x-ray射到中性的I层内的硅原子上，将其价电子轰击到导带，价带中留下空穴，在外加电场的作用下输出一个电脉冲,电子空穴对的数量与x-ray光