国立彰化师范大学机电工程学系薄膜材料及元件实验室.PDFVIP

國立彰化師範大學機電工程學系 薄膜材料及元件實驗室 濺鍍機(II)Sputter 操作流程 1. 濺鍍機載具靶材安裝 1 3 (1) 開啟N2 氣閥開關○(氣瓶是否開啟) ，開啟破腔閥門○進行破腔動作 (2) 將靶材(銅背板朝下)放置腔內左邊，蓋上固定環，螺絲*3 對角鎖不用太緊 (3) 放上蓋，距離為4mm(底部至上蓋下緣) ，上鎖緊水路 (4) 放遮罩擋板鎖固 5 (5) 上試片載具(亮面朝下) ，開啟試片自轉 RUN○ 4 1 (6) 擋板Off○ ，關N2 氣閥門○ (7) 關腔門(用板手協助關門) 2. 抽真空階段 (1) 粗抽: 6 9 10 面板(流程圖頁面)○開啟，先點RP○再點V2○(按完馬上用手將腔門壓緊，