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XPS标准宣贯 表面化学分析 X射线光电子能谱 强度标的重复性和一致性 2014年XPS标准宣贯杭州 吴正龙 北京师范大学分析测试中心 表面分析标准化 • 组织机构 • 主要职能 – 表面分析标准相关业务的专业管理 – 起草、制定、审查、修订 – 宣贯 表面化学分析测试的标准化问题 • 标准化？ 为在一定的范围内获得最佳秩序，对实际的或潜 在的问题制定共同的和重复使用的规则的活动， 称为标准化。 • 标准化过程包括： 标准的制定、发布、实施、修订、宣贯 • 标准化意义 标准化的重要意义提高测量结果的可靠性、准确 性、通用性，使得结果具有可比性，促进与测量 活动相关行业组织间的交流合作。 表面化学分析测试的标准化问题 • 国际标准化组织（International Organization for Standardization 即ISO） – 世界上最大的非政府性标准化专门机构，是国际标准 化领域中一个十分重要的组织。 • 表面化学分析技术委员会ISO/TC201 • 与ISO/TC201相关的国际组织： – ISO/TC202 微束分析技术委员会， – IUPAC 国际纯粹与应用化学联合会， – IUVSTA 国际真空科学技术与应用联合会， – VAMAS 凡尔赛先进材料和标准计划， 表面化学分析测试的标准化问题 • 电子能谱分析属于表面化学分析 • 表面化学分析技术委员会ISO/TC201 表面化学分析测试的标准化问题 • ISO/TC201 目前建立有9个分技术委员会和1个工作 组 – SC1 ：术语Terminology ； – SC2 ：总则General procedures ； – SC3 ：数据管理和处理Data management and treatment； – SC4 ：深度剖析Depth profiling； – SC5 ：俄歇电子能谱Auger electron spectroscopy ； – SC6 ：二次离子质谱Secondary ion spectroscopy ； – SC7 ：X射线光电子能谱X-ray photoelectron spectroscopy; – SC8 ：辉光放电谱Glow discharge spectroscopy – SC9 ：扫描探针显微术Scanning probe microscopy – WG2 ：全反射X射线荧光光谱Total reflection X-ray fluorescence spectroscopy 表面化学分析测试的标准化问题 • 国家标准化管理委员会（SAC ） • 全国微束分析标准化技术委员会－－ 表面化学分析分技术委员会（SAC/TC38/SC2 ） 成立于1997年。 表面化学分析测试的标准化问题 • SAC/TC38/SC2工作范围内容 – 基础：表面化学分析名词术语、数据格式、分析通则、 操作规程…… – （X射线/紫外）光电子能谱 – 俄歇电子能谱 – 二次离子质谱 – 辉光光谱/质谱 – 全反射X射线荧光光谱 – 其它表面化学分析 表面化学分析标准 • 一般测试需要考虑： – 数据可靠性、准确性、重复性、可比性、…… – 标准样品、标准方法、测量环境、…… – 规范测试分析全过程、全要素，以保证数据结 果的一致性和准确性。制定具体的控制、改进 方法 – …… 表面化学分析标准 • 表面化学分析国家标准有 – 电子能谱仪器分辨、灵敏度、稳定性等状态性能参数评估，（GB/T28632- 2012/ISO18516:2006